[实用新型]具有增置阳极的镀膜系统

权利要求书

1.具有增置阳极的镀膜系统，包括镀膜室、气体单元、质量流量控制单元、放电控制 单元、以及真空单元，其特征在于：

所述放电控制单元包括设置于镀膜室内的两个阴极靶、增置阳极、以及设置于镀膜室 外的弧电源、稳压电源和多个开关，所述两个阴极靶包括第一阴极靶和第二阴极靶，增置 阳极包括第一增置阳极和第二增置阳极，弧电源包括第一弧电源和第二弧电源，稳压电源 包括第一稳压电源和第二稳压电源；

所述第一阴极靶与所述第一弧电源的负极相连，所述第一弧电源的正极与所述镀膜室 通过第三开关相连，第一弧电源的正极与所述第二增置阳极通过第七和第四开关相连；所 述第一稳压电源的负极与所述镀膜室连接，所述第一稳压电源的正极与所述第一增置阳极 通过第五开关和第一开关连接；

所述第二阴极靶与所述第二弧电源的负极相连，所述第二弧电源的正极与所述镀膜室 通过第二开关相连，第二弧电源的正极与所述第一增置阳极通过第六开关和第一开关相连； 所述第二稳压电源的负极与所述镀膜室连接，所述第二稳压电源的正极与所述第二增置阳 极通过第八开关和第四开关连接。

2.根据权利要求1所述的具有增置阳极的镀膜系统，其特征在于：所述第一增置阳极 和/或第二增置阳极的内部设有磁铁。

3.根据权利要求1所述的具有增置阳极的镀膜系统，其特征在于：所述第一增置阳极 和第二增置阳极设置为分别与所述第二阴极靶和所述第一阴极靶的位置方向相对。

4.根据权利要求1所述的具有增置阳极的镀膜系统，其特征在于：所述第一阴极靶的 材质为钛，所述第二阴极靶的材质为铝。