[实用新型]均匀缓释型电镀喷头有效
申请号: | 201521013357.X | 申请日: | 2015-12-09 |
公开(公告)号: | CN205241835U | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
发明(设计)人: | 陈亮;马春晖;朱宝才;叶燕萍 | 申请(专利权)人: | 铜陵丰山三佳微电子有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;H01L23/495 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人: | 莫祚平 |
地址: | 244000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 均匀 缓释型 电镀 喷头 | ||
【权利要求书】:
1.均匀缓释型电镀喷头,它包括与泵(6)连通的进液管(1)和圆锥形喷头(2),其特征是所述圆锥形喷头内部固接有朝向圆锥形喷头末端隆起的弧形缓释层(3),所述弧形缓释层上均匀开设有径向通孔(4),所述圆锥形喷头的末端固接有均匀开设有若干径向喷孔(5)的圆盘,所述径向喷孔的中部向外隆起呈球形。
2.如权利要求1所述的均匀缓释型电镀喷头,其特征是所述径向通孔在溶液喷射方向呈逐渐收窄的锥形。
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