[实用新型]一种碳化硅尾气回收装置

权利要求书

1.一种碳化硅尾气回收装置，由尾气回收器、移动电阻炉、变频真空压缩机组、凝液回收罐、凝液回收泵、排气风机、氮气管路、尾气排出管路以及设备间的连接管路组成；其中尾气回收器内带有导轨，移动电阻炉通过导轨进入尾气回收器中；变频真空压缩机组、凝液回收罐、排气风机以及氮气管路分别与尾气回收器连接；凝液回收罐出口处连接有凝液回收泵。

2.如权利要求1所述的一种碳化硅尾气回收装置，其特征在于所述尾气回收器为一圆柱形筒体，筒体一端封闭，另一端具有一可打开的封头，筒体与封头连接处分别焊接筒体法兰和封头法兰，筒体上装有液压加紧机构，封头上装有电动减速机构，通过筒体上的液压加紧机构将筒体法兰和封头法兰闭合，通过电动减速机构和液压机构配合将筒体法兰和封头法兰打开。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅尾气回收装置，其特征在于所述尾气回收器还安装有安全联锁机构。