[实用新型]一种废气处理装置

权利要求书

1.一种废气处理装置，其特征在于，该废气处理装置包括第一收集腔、低温等离子处理腔、第二收集腔和高频高压电源；所述的第一收集腔设置在废气处理装置的下部，所述的低温等离子处理腔连接在第一收集腔上部，所述的第二收集腔连接在低温等离子处理腔上部，所述的高频高压电源连接在低温等离子处理腔一侧；

所述的第一收集腔底部设置有废气入口，所述的第二收集腔上部设置有达标排放口；

所述的低温等离子处理腔包括外电极构件、内电极构件和低温等离子反应腔；所述外电极构件包括外电极外壳、外电极和外电极内壳；所述外电极外壳和外电极内壳的上下端均密封，厚度为0.15mm不锈钢薄片的外电极固定在外电极内壳上；

所述内电极构件包括内电极外壳和内电极，使用绝缘陶瓷的内电极外壳烧结在内电极上并密封内电极两端；

所述低温等离子反应腔设置在外电极内壳和内电极外壳之间。

2.如权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述厚度为0.15mm不锈钢薄片的外电极螺旋状缠绕固定在外电极内壳上。

3.如权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述内电极由Φ8mm不锈钢棍构成。

4.如权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述低温等离子处理腔设置有多组并相互并联与第一收集腔、第二收集腔和高频高压电源连接。

5.如权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述低温等离子处理腔内的外电极和内电极与高频高压电源连接。

6.如权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的外电极内壳下端与第一收集腔连接，上端与第二收集腔连接。