[实用新型]一种废气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型属于废气处理领域，尤其涉及一种废气处理装置。

背景技术

目前，周知，在半导体晶圆厂、光电厂、面板厂、太阳能厂于产制例如是晶圆或是各式面板等产品的过程中，有时会生成有害的废气。例如：以半导体晶圆厂来说，其制作过程中所生成的有害废气包含有单硅烷(SiH4)、氯气(C12)、PFC(全氟化合物(perfluoro-compounds))等，在处理含有上述气体的废气时，一般是使用湿式法、吸附法、加热分解法及燃烧法等4种方法。

其中，加热分解法是指在废气处理槽内设置加热器，而加热器在废气处理槽内形成一加热腔室，当有害废气进入废气处理槽内到达加热腔室时，通过加热器以热辐射的方式加热有害废气，迫使有害废气中所含有害物质接受高温催化，而分解成无害物质；而湿式法是指使有害废气通过设置有多个洒水器的水洗室，凭借洒水器所喷洒的水幕与有害废气接触，将有害废气中所含可溶于水的有害物质加以溶解，以达到净化有害废气的效果；至于燃烧法是指利用火焰燃烧有害废气，以达到净化有害废气的效果，由于用来提供火焰燃烧的燃气是将甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)等燃料和空气以既定比例混合而成，其中甲烷燃烧后会产生例如是一氧化碳(CO)等有害气体，造成二次污染。因此，目前在以环保为前提而采取的半导体制作过程废气处理方式，是利用加热分解法搭配湿式法，来达到净化废气的效果。然而，由于传统的废气处理装置内缺乏延滞有害废气通过时间的设计，迫使有害废气在通过废气处理槽内接受加热的时间较为短暂，导致在以加热分解法净化有害废气时，由于有害废气接受加热时间的不足，导致有害废气中的有害物质难以完全催化，进而影响到有害废气的净化效率，因此，如何能延滞有害废气在废气处理槽内接受加热的时间，进而提升有害废气的净化效率，已成为熟悉本技术领域人士所应面对的待以改善的重要课题。

废气中含有大量的有害的细菌病毒和有机物气体，同时这些物质散发出恶臭，是造成空气污染的一个重要因素，特别是垃圾处理站的废气更是这样。现有的废气处理系统一般是加药品消毒或将废气燃烧处理，废气燃烧处理容易产生剧毒的二恶英气体且无法降解，这样容易造成二次污染，使用时投加药品或燃料也需要大量的资金投入，运行成本高。因此需要一种能有效处理废气、不产生二次污染的废气处理装置。

废气处理在工业生产中尤为重要。现有的废气处理设备一般是对废气进行过滤除尘处理。废气的过滤处理很难将废气中的颗粒完全清除，最后排放出的气体仍然对空气造环境污染。

在高浓度难处理的废气治理过程中，目前传统的处理方法往往造成处理效果不佳或投入大收效不够理想的困局，给企业和社会发展带来很多不利。

实用新型内容

本实用新型为解决高浓度难处理的废气治理中，目前传统的处理方法处理效果不佳或投入大收效不理想，给企业和社会发展带来很多不利的问题而提供一种废气处理装置。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种废气处理装置，包括第一收集腔、低温等离子处理腔、第二收集腔和高频高压电源；所述的第一收集腔设置在废气处理装置的下部，所述的低温等离子处理腔连接在第一收集腔上部，所述的第二收集腔连接在低温等离子处理腔上部，所述的高频高压电源连接在低温等离子处理腔一侧；

所述的第一收集腔底部设置有废气入口，所述的第二收集腔上部设置有达标排放口；

所述的低温等离子处理腔包括外电极构件、内电极构件和低温等离子反应腔；所述外电极构件包括外电极外壳、外电极和外电极内壳；所述外电极外壳和外电极内壳的上下端均密封，所述厚度为0.15mm不锈钢薄片的外电极固定在外电极内壳上；

所述内电极构件包括内电极外壳和内电极，所述使用绝缘陶瓷的内电极外壳烧结在内电极上并密封内电极两端。

所述低温等离子反应腔设置在外电极内壳和内电极外壳之间。

进一步，所述厚度为0.15mm不锈钢薄片的外电极螺旋状缠绕固定在外电极内壳上。

进一步，所述内电极由Φ8mm不锈钢棍构成。

进一步，所述低温等离子处理腔设置有多组并相互并联与第一收集腔、第二收集腔和高频高压电源连接。

进一步，所述低温等离子处理腔内的外电极和内电极与高频高压电源连接。

进一步，所述的外电极内壳下端与第一收集腔连接，上端与第二收集腔连接。

进一步，所述外电极内、外壳之间充满绝缘降温液，防止外电极氧化发热燃烧等情况的发生影响正常使用；