[实用新型]一种用于真空设备的加热装置

权利要求书

1.一种用于真空设备的加热装置，其特征在于，包括载台、金属铠装的管状加热器、冷却管、加热器压条、冷却管压条和支撑条，所述载台为平板状，载台的底面设有均匀排列的沟槽；所述加热器和冷却管均匀并且间隔平行排列在沟槽中；所述加热器压条和冷却管压条的顶面分别设有与沟槽等长的凹槽，加热器压条和冷却管压条的凹槽分别与沟槽相对应并支撑在加热器和冷却管的底部；所述支撑条横向支撑在加热器压条和冷却管压条的底面上，支撑条与顶部的载台相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空设备的加热装置，其特征在于，还包括框状的围挡，所述围挡固定连接在载台四周的外壁上，围挡的顶部高于载台的顶部。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于真空设备的加热装置，其特征在于，所述加热器和冷却管的形状分别为‘M’形，‘M’形加热器和冷却管相互间隔平行排列，并分别嵌入在载台底部的沟槽中。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于真空设备的加热装置，其特征在于，所述支撑条的顶面分别与加热器压条和冷却管压条的底面线接触。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空设备的加热装置，其特征在于，所述支撑条的形状为三棱柱。

6.根据权利要求1或2所述的一种用于真空设备的加热装置，其特征在于，所述加热器压条和冷却管压条的顶面分别与沟槽的两侧端面相接触。