[实用新型]定位装置

权利要求书

1.一种定位装置，用于承载并定位玻璃基板，其特征在于：所述定位装 置包括用于承接玻璃基板的基板载台及安装于基板载台上的静电吸盘，所述静 电吸盘被施加直流电压后，所述玻璃基板定位于基板载台。

2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述静电吸盘为双极型 静电吸盘。

3.如权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述静电吸盘为两个， 每个所述静电吸盘内设有第一电极与第二电极。

4.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述直流电压包括正直 流电压和负直流电压，所述正直流电压施加于一个静电吸盘内的第一电极，所 述负直流电压施加于另一静电吸盘的第二电极。

5.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述两个静电吸盘分别 连接供电部。

6.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述基板载台的下表面 设有两个收容槽，所述两个静电吸盘分别位于所述两个收容槽内。

7.如权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置放置于硬 化退火炉的传送装置上。

8.如权利要求7所述的定位装置，其特征在于，所述传送装置的一部分 收容于所述收容槽内。