[实用新型]一种半导体设备真空检测仪器有效
| 申请号： | 201521080387.2 | 申请日： | 2015-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN205352621U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨晓曼;赵玥起;张俊兰 | 申请（专利权）人： | 天津市盟习科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区高新区华*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 真空 检测 仪器 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：它包括真空检测箱，所述真空检测箱左方设置有预真空箱，所述真空检测箱右方设置有分子泵，所述真空检测箱上端设置有高真空计，所述真空检测箱下端设置有电容真空计，所述分子泵通过前端阀门连接有干燥泵，所述干燥泵左端连接在真空检测箱上，所述干燥泵与真空检测箱之间设置有粗抽取阀门。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：所述真空检测箱与分子泵之间设置有第一门阀，所述真空检测箱与预真空箱之间设置有第二门阀。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：所述真空检测箱上端设置有气体进出模块，所述气体进出模块包括换向阀门、工艺气体进口与放气阀门，所述工艺气体进口与放气阀门连接在换向阀门上。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：所述分子泵右端设置有清洗阀门。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：所述真空检测箱内设置有检测平台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市盟习科技发展有限公司，未经天津市盟习科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201521080387.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超低温平衡密封环泄漏量测试装置
- 下一篇：应用物联网传感器检测车内漏水的装置
