[实用新型]一种半导体设备真空检测仪器

说明书

技术领域

本实用新型涉及仪器仪表领域，具体涉及一种半导体设备真空检测仪器。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，许多半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备，在高真空环境下,洁净度高、水蒸气很少，一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保证工艺人员的安全，但是随着生产设备数量的增加,以及新工艺对设备要求的提高,真空故障随之增加，因此需要设计一种半导体设备真空检测仪器。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种半导体设备真空检测仪器，能很好的检查出半导体设备的泄露情况，保障了设备的正常使用与使用人员的安全，值得推广。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种半导体设备真空检测仪器，它包括真空检测箱，所述真空检测箱左方设置有预真空箱，所述真空检测箱右方设置有分子泵，所述真空检测箱上端设置有高真空计，所述真空检测箱下端设置有电容真空计，所述分子泵通过前端阀门连接有干燥泵，所述干燥泵左端连接在真空检测箱上，所述干燥泵与真空检测箱之间设置有粗抽取阀门。

进一步地，所述真空检测箱与分子泵之间设置有第一门阀，所述真空检测箱与预真空箱之间设置有第二门阀。

进一步地，所述真空检测箱上端设置有气体进出模块，所述气体进出模块包括换向阀门、工艺气体进口与放气阀门，所述工艺气体进口与放气阀门连接在换向阀门上。

进一步地，所述分子泵右端设置有清洗阀门。

进一步地，所述真空检测箱内设置有检测平台。

本实用新型的有益效果：

本实用新型能够防止被抽气体凝结，很好的过滤了杂质，减少能量的消耗，避免了外界的干扰，可以多次对设备进行检查，保证不会出现漏查的情况，克服了半导体设备真空疑难问题的及时检查难题，能很好的检查出半导体设备的泄露情况，保障了设备的正常使用与使用人员的安全，值得推广，整个仪器结构紧凑，设计原理简单，具有很好的实用意义。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型气体进出模块结构示意图。

图中标号为：1-真空检测箱，2-预真空箱，3-分子泵，4-高真空计，5-电容真空计，6-前端阀门，7-干燥泵，8-粗抽取阀门，9-第一门阀，10-第二门阀，11-气体进出模块，12-换向阀门，13-工艺气体进口，14-放气阀门，15-清洗阀门，16-检测平台。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1和图2所示，一种半导体设备真空检测仪器，它包括真空检测箱1，所述真空检测箱1左方设置有预真空箱2，所述真空检测箱1右方设置有分子泵3，所述真空检测箱1上端设置有高真空计4，所述真空检测箱1下端设置有电容真空计5，所述分子泵3通过前端阀门6连接有干燥泵7，所述干燥泵7左端连接在真空检测箱1上，所述干燥泵7与真空检测箱1之间设置有粗抽取阀门8。

在上述实施例上优选，所述真空检测箱1与分子泵3之间设置有第一门阀9，所述真空检测箱1与预真空箱2之间设置有第二门阀10，两个门阀的设计能很好的将真空检测箱1与其他结构隔开，便于检测时的安全进行。

在上述实施例上优选，所述真空检测箱1上端设置有气体进出模块11，所述气体进出模块11包括换向阀门12、工艺气体进口13与放气阀门14，所述工艺气体进口13与放气阀门14连接在换向阀门12上，能通过气体进出模块11来控制真空检测箱1内的气体进出，并通过换向阀门12来控制气体进和气体出。

在上述实施例上优选，所述分子泵3右端设置有清洗阀门15，能很好的对分子泵3进行清洗。

在上述实施例上优选，所述真空检测箱1内设置有检测平台16，用于放置被检测的半导体设备。