[实用新型]负压搅拌式反应釜有效

专利信息
申请号: 201521099364.6 申请日: 2015-12-23
公开(公告)号: CN205235922U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 刘玉岭;顾张冰;王娟 申请(专利权)人: 天津晶岭微电子材料有限公司
主分类号: B01J3/04 分类号: B01J3/04;B01J3/02
代理公司: 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 代理人: 杨红
地址: 300130 天津市南开*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 搅拌 反应
【权利要求书】:

1.一种负压搅拌式反应釜,包括筒体和上、下封头构成整体反应釜结 构,其特征是:所述上封头设有真空泵接口,所述下封头设有气流喷射口, 所述下封头纵向截面形状呈椭圆形,所述下封头上方间隔固接有曲面挡 板,所述曲面挡板与筒体及下封头形成的角壁之间构成气流引导区。

2.根据权利要求1所述的负压搅拌式反应釜,其特征是:所述真空 泵接口置于上封头中央。

3.根据权利要求1所述的负压搅拌式反应釜,其特征是:所述气流 喷射口置于下封头中央。

4.根据权利要求1所述的负压搅拌式反应釜,其特征是:所述曲面 挡板纵向截面形状呈椭圆形并与下封头形状匹配,曲面挡板的椭圆形长轴 和短轴<下封头椭圆形长轴和短轴。

5.根据权利要求1或4所述的负压搅拌式反应釜,其特征是:所述 曲面挡板的长轴和短轴尺寸小于下封头椭圆形的长轴和短轴尺寸为20mm。

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