[实用新型]曝光机的UV能量调整装置有效
| 申请号： | 201521099414.0 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205229668U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王启毓;张永裕 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 刘云贵;王东 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 uv 能量 调整 装置 | ||
1.一种曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，包含：
UV能量感测部，其具有UV能量传感器及至少一个移动机构，该移动 机构驱动该UV能量传感器移动，该UV能量传感器用以感测该曝光机的平 面光源的多个UV-LED的照射能量，上述UV-LED用以照射曝光对象；以 及
UV能量调整部，其连接上述UV-LED、该UV能量传感器及该移动机 构，以调整上述UV-LED的照射能量为相同。
2.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，该 UV能量传感器通过该移动机构相对于该平面光源移动以感测上述UV-LED 的照射能量，上述UV-LED的照射能量传送至该UV能量调整部，该UV能 量调整部调整上述UV-LED的照射能量为上述UV-LED的照射能量中的最 低者，或该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为指定的照射能量。
3.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，该 平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部，该移动机构的数量为两 个，其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动，另一个移动机构驱动该 移动机构移动，该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互 垂直。
4.如权利要求2所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，该 平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部，该移动机构的数量为两 个，其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动，另一个移动机构驱动该 移动机构移动，该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互 垂直。
5.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，该 平面光源为移动式且用以照射该曝光对象的部分，该移动机构的数量为一 个，该UV能量调整部连接该平面光源以控制该平面光源移动，该平面光源 的移动方向与该UV能量传感器的移动方向相互垂直。
6.如权利要求2所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，该 平面光源为移动式且用以照射该曝光对象的部分，该移动机构的数量为一 个，该UV能量调整部连接该平面光源以控制该平面光源移动，该平面光源 的移动方向与该UV能量传感器的移动方向相互垂直。
7.如权利要求1至6中任一项所述的曝光机的UV能量调整装置，其 特征在于，该UV能量调整部为计算处理器。
8.如权利要求1至6中任一项所述的曝光机的UV能量调整装置，其 特征在于，上述UV-LED平面排列成方形或矩形。
9.如权利要求7所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，上 述UV-LED平面排列成方形或矩形。
10.如权利要求8所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，上 述UV-LED成矩阵排列或错位排列。
11.如权利要求9所述的曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，上 述UV-LED成矩阵排列或错位排列。
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