[实用新型]一种靶材涂铟加热平台有效
| 申请号： | 201521123024.2 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205385619U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 梁国雄 | 申请（专利权）人： | 广州市番禺科进超声波设备厂 |
| 主分类号： | H05B3/42 | 分类号： | H05B3/42 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 511452 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 靶材涂铟 加热 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材涂铟加热平台，其特征在于：包括不锈钢框架（1）、柜体部分（2）和安装在不锈钢框架（1）上部的加热平台（3）；所述加热平台（3）上设有孔，孔内装有发热管（9）。
2.根据权利要求1所述的靶材涂铟加热平台，其特征在于：所述加热平台（3）采用铝合金板材压铸成型，加热平台（3）上的孔为均匀分布，加热平台（3）的边缘设有汇流槽（10）。
3.根据权利要求2所述的靶材涂铟加热平台，其特征在于：发热管（9）为单头出线发热管，发热管（9）与加热平台（3）上的孔间隙配合。
4.根据权利要求3所述的靶材涂铟加热平台，其特征在于：所述加热平台（3）上每一个孔内装入一支发热管（9）。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的靶材涂铟加热平台，其特征在于：所述不锈钢框架（1）上还安装有活动脚轮（4）和平衡固定胶杯（5）。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的靶材涂铟加热平台，其特征在于：所述柜体部分（2）上还设有总开关（6）、温控器（7）和指示灯（8）。
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