[实用新型]一种靶材涂铟加热平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及靶材涂铟平台，具体涉及一种可更换发热管均匀加热靶材涂铟平台。

背景技术

靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。

靶材涂铟是指将铟金属融化后涂布在靶材表面。

目前靶材涂铟采用的加热平台都是浇铸成型。有以下缺点：1、表面粗糙；2、加热速度慢（加热至200摄氏度时需要2小时）；3、表面容易氧化；4、整体容易变形；5、发热管不能更换；6、平台表面温差大（正负15度以上），靶材容易受热不均而出现裂纹。

实用新型内容

为克服现有技术的不足及存在的问题，本实用新型提供一种可以改善传统靶材涂铟的加热平台结构。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种靶材涂铟加热平台，包括不锈钢框架、柜体部分和安装在不锈钢框架上部的加热平台；所述加热平台上设有孔，孔内装有发热管。

所述加热平台采用铝合金板材压铸成型，加热平台上的孔为均匀分布，加热平台的边缘设有汇流槽。

所述发热管为单头出线发热管，发热管与加热平台上的孔间隙配合。

所述加热平台上每一个孔内装入一支发热管。

所述不锈钢框架上还安装有活动脚轮和平衡固定胶杯。

所述柜体部分上还设有总开关、温控器和指示灯。

本实用新型提供的一种靶材涂铟加热平台的支架采用不锈钢结构，坚固耐用；加热平台使用的压铸成型铝合金板材表面可作精磨加工，表面光滑，能与靶材无缝接触，热传递快；铝合金板材易于加工，发热管均匀分布，因此加热平台的表面温差小，在正负5摄氏度内，这样靶材可均匀受热；因加热平台采用铝合金材料，表面不易氧化，正常加热温度范围内整体热变形量极小；发热管是采用精密工艺制造的单头出线发热管，压铸成型的加热平台的合金铝板孔精度高，发热管可与加热平台的内孔精密配合；加热平台的每一个孔内插入一支发热管，发热管可以单独更换。使用本实用新型改善了以往涂铟平台表面粗燥、加热速度慢、整体易变形、表面易氧化、平台表面温差大、发热管不能更换的缺点。

附图说明

图1为本实用新型靶材涂铟加热平台结构示意图。

图中标号所示为：1-不锈钢框架，2-柜体部分，3-加热平台，4-活动脚轮，5-平衡固定胶杯，6-总开关,7-温控器，8-指示灯，9-发热管，10-汇流槽。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

一种靶材涂铟加热平台包括不锈钢框架1、柜体部分2和安装在不锈钢框架1上部的加热平台3；所述加热平台3上设有孔，孔内装有发热管9。

如图1所示，一种靶材涂铟加热平台的不锈钢框架1一般通过焊接工艺制造，以不锈钢框架1为支撑的柜体部分2安装在不锈钢框架1上，加热平台3通过螺栓连接固定在不锈钢框架1上。

加热平台3采用压铸成型高密度的铝合金板材，加热平台3上的孔通过压铸一次成型或者在板材上通过后续钻孔加工，加热平台3上的孔为均匀分布，孔内装入发热管9，发热管9通电产热，可使加热平台3均匀受热。

加热平台3使用的压铸成型铝合金板材表面作精磨加工，表面光滑，能与靶材无缝接触，热传递快。

所述加热平台3边缘有汇流槽10，汇流槽10由压铸工艺一次成型。

加热平台3采用的发热管9为精密工艺制造的单头出线发热管，加热平台3的孔加工精度高，因此发热管9与加热平台3配合精密，传热效果好，使得加热平台3升温快。

加热平台3上的每一个孔内装入一支发热管9，因此发热管9可独立快速更换。

不锈钢框架1上还安装有活动脚轮4和平衡固定胶杯5，方便平台的移动和平衡固定。

柜体2上还设有总开关6、温控器7和指示灯8，柜体2内部设有控制和显示电路，柜体2表面还布置有控制和显示用的按钮、仪表和屏幕。

所述实施例为本实用新型较佳的实现方案，在不脱离本实用新型构思的前提下，只是对本实用新型作出直接的置换或等同的替换，均属于本实用新型的保护范围之内。