[实用新型]一种光刻胶喷头的自动清洗装置

权利要求书

1.一种光刻胶喷头的自动清洗装置，包括清洗箱，其特征在于，所述清洗箱上部设置有清洗槽，所述清洗槽底部设置有检测光刻胶喷头的位置的位置传感器、根据所述位置传感器的检测信号开启或关断动力泵的控制器，所述自动清洗装置还包括位于所述清洗箱的内腔的清洗液储存箱和冲洗管，所述动力泵的一端连接所述清洗液储存箱，另一端连接所述冲洗管，所述冲洗管的出液口连接所述清洗槽。

2.根据权利要求1所述的自动清洗装置，其特征在于，所述清洗槽与所述光刻胶喷头的形状相适应。

3.根据权利要求2所述的自动清洗装置，其特征在于，所述冲洗管的出液口设置在所述清洗槽的内侧面上。

4.根据权利要求3所述的自动清洗装置，其特征在于，当所述光刻胶喷头为圆台形时，所述冲洗管的出液口有三个，均匀分布在所述清洗槽的内侧面同一高度的截面的圆周上。

5.根据权利要求1所述的自动清洗装置，其特征在于，还包括连接所述清洗液储存箱的入液管，所述入液管的入液口设置在所述清洗箱的侧面。

6.根据权利要求1所述的自动清洗装置，其特征在于，还包括将使用过后的清洗液排出清洗箱的排液管，所述排液管连接所述清洗槽，所述排液管的出液口设置在所述清洗箱的底部。

7.根据权利要求1所述的自动清洗装置，其特征在于，还包括将清洗过后的光刻胶喷头烘干的烘干机，所述烘干机设置在所述清洗箱的上端。