[实用新型]一种单晶炉加热系统有效
| 申请号： | 201521135314.9 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN205241851U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张立 | 申请（专利权）人： | 天津长园电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301700 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 加热 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉加热系统，其特征在于：由内到外依次包括坩埚、 辅助加热系统、加热套和保温罩，所述坩埚内壁涂有防止熔硅腐蚀的 保护涂层，所述坩埚底部设置有拖杆底座，所述拖杆底座与拖杆固定 连接，所述拖杆外周设置有拖杆护套，所述坩埚外部设置有加热套， 所述加热套为敞口结构、上窄下宽的石墨加热条，所述加热套与坩埚 之间设置有辅助加热系统，所述辅助加热系统上部设置有圆环形的加 热板，所述加热板圆环内对称位置各设置有一个杂质加料口。保温罩 底部一侧设置有抽真空和充保护气的气体出入口。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉加热系统，其特征在于：所 述加热套的石墨加热条为梯形，上底是下底边长的二分之一。
3.如权利要求1所述的一种单晶炉加热系统，其特征在于：所 述圆环形加热板的内圆半径大于单晶硅产品直径。
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