[实用新型]太阳能电池制备系统

权利要求书

1.一种太阳能电池制备系统，其特征在于，包括特征存储模块、第一分类 模块、多个第一工艺处理模块、第二分类模块和多个第二工艺处理模块；

所述特征存储模块，被配置为存储预先检测的基片的特征参数；

所述第一分类模块与所述第二分类模块均与所述特征存储模块通讯连接；

所述第一分类模块设置在所述第一工艺处理模块的上料口的前端，且被配 置为读取所述特征参数中的第一特征参数，根据所述第一特征参数对所述基片 分类，并将不同类的所述基片输送至不同的第一工艺处理模块的上料口处；

不同的所述第一工艺处理模块，被配置为对分类后的所述基片进行不同工 艺条件的第一工艺处理；

所述第二分类模块设置在所述第一工艺处理模块的下料口与所述第二工艺 处理模块的上料口之间，且被配置为读取所述特征参数中的第二特征参数，根 据所述第二特征参数对经过所述第一工艺处理后的所述基片进行再次分类，将 不同类的所述基片输送至不同的所述第二工艺处理模块的上料口处；

不同的所述第二工艺处理模块，被配置为对再次分类后的所述基片进行不 同工艺条件的第二工艺处理。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池制备系统，其特征在于，所述第一特 征参数包括线痕深度参数和电阻率参数；

所述第一分类模块包括第一分类子装置和第二分类子装置；

所述第一工艺处理模块包括制绒设备和扩散设备；

其中，所述第一分类子装置位于所述制绒设备的上料口的前端，且被配置 为读取所述线痕深度参数，根据所述线痕深度参数对所述基片进行第一分类， 并将经过第一分类后的所述基片输送至不同的所述制绒设备的上料口处；

不同的所述制绒设备，被配置为对第一分类后的所述基片进行不同工艺条 件的制绒工艺处理；

所述第二分类子装置设置在所述制绒设备的下料口与所述扩散设备的上料 口之间，且被配置为读取所述根据所述电阻率参数对所述基片进行第二分类， 并将经过第二分类后的所述基片输送至不同的所述扩散设备的上料口处；

不同的所述扩散设备，被配置为对第二分类后的所述基片进行不同工艺条 件的扩散工艺处理。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池制备系统，其特征在于，所述第二分 类子装置包括数据存储模块和比较分类模块；

所述数据存储模块，被配置为存储预设的第一电阻率范围、第二电阻率范 围、第三电阻率范围和第四电阻率范围；

所述比较分类模块，被配置为将所述电阻率参数分别与所述第一电阻率范 围、所述第二电阻率范围、所述第三电阻率范围和所述第四电阻率范围进行比 较；并当所述电阻率参数位于所述第一电阻率范围时，将相应的所述基片分为 第一等级；当所述电阻率参数位于所述第二电阻率范围时，将相应的所述基片 分为第二等级；当所述电阻率参数位于所述第三电阻率范围时，将相应的所述 基片分为第三等级；当所述电阻率参数位于所述第四电阻率范围时，将相应的 所述基片分为第四等级。

4.根据权利要求1至3任一项所述的太阳能电池制备系统，其特征在于， 所述第二特征参数包括厚度参数；所述第二分类模块包括第三分类子装置；所 述第二工艺处理模块包括镀膜设备和烧结设备；

不同的所述镀膜设备，被配置为对再次分类后的所述基片进行不同工艺条 件的镀膜工艺处理；

所述第三分类子装置设置在所述镀膜设备的下料口与所述烧结设备的上料 口之间，且被配置为读取所述厚度参数，根据所述厚度参数对经过所述镀膜工 艺处理后的所述基片进行第三分类，并将经过第三分类后的所述基片输送至不 同的所述烧结设备的上料口处；

不同的所述烧结设备，被配置为对第三分类后的所述基片进行不同工艺条 件的烧结工艺处理。