[实用新型]真空机械手传动装置

权利要求书

1.真空机械手传动装置，包括转动马达、移动马达和机械手臂，其特征在于：转动马达 的输出轴与第一齿轮连接，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮与磁流体动密封的旋转轴 下端固定连接，磁流体动密封的旋转轴上端固定在摆杆底座上；移动马达的输出轴与磁流 体动密封的中心轴下端连接，磁流体动密封的中心轴的上端具有第三齿轮，第三齿轮与 第四齿轮啮合，第四齿轮通过第一连接杆与第五齿轮连接，第五齿轮与第六齿轮啮合，所 述的第六齿轮固定在滚珠丝杠的一端，滚珠丝杠可转动地固定在摆杆底座上，滚珠丝杠上 有滑轮，滑轮与机械手臂固定。

2.如权利要求1所述的真空机械手传动装置，其特征在于：所述的第三齿轮和第四齿轮 均为锥齿轮。

3.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于：所述的转动马达和移动 马达都固定在马达固定架上。

4.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于：磁流体动密封的旋转轴 为筒状，磁流体动密封的中心轴从磁流体动密封的旋转轴中穿出。

5.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于：所述的摆杆底座左侧臂、 右侧壁和横杆组成，大体呈倾倒的J型，第一连接杆右端穿过右侧臂与第五齿轮连接，第 一连接杆左端伸入磁流体动密封中与第四齿轮连接。

6.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于：所述的磁流体动密封下 端固定有第二连接杆和第三连接杆，第二连接杆下端与第一齿轮连接，第二连接杆下端与 马达固定架连接。