[实用新型]真空机械手传动装置

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备，具体是一种用于真空镀膜设备上的真空机械手传动装 置。

背景技术

真空镀膜设备一般包括一个装片室和两个镀膜室，其中，两个镀膜室分别位于装片室 的两侧。为了保证工件和靶材在系统各个真空室之间转运，一般要用到磁流体密封传动装 置，但是现有的磁流体密封传动装置由于各部件之间相互约束较多，容易形成死点，并使 滑块与丝杠之间摩擦力增大，操作时阻力较大，运行不稳定，定位不精确。再者，现有的 装置的旋转中心位于端部，这样，旋转半径就大，需要真空室的空间也大，而且显得笨重。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空机械手传动装置，可以使镀膜工件及 靶材在系统各个真空室内转运，且旋转中心位于中间，旋转半径缩小一半，而且定位精确、 结构简单。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空机械手传动装置，包括转动马达、 移动马达和机械手臂，转动马达的输出轴与第一齿轮连接，第一齿轮与第二齿轮啮合，第 二齿轮与磁流体动密封的旋转轴下端固定连接，磁流体动密封的旋转轴上端固定在摆杆底 座上；移动马达的输出轴与磁流体动密封的中心轴下端连接，磁流体动密封的中心轴的 上端具有第三齿轮，第三齿轮与第四齿轮啮合，第四齿轮通过第一连接杆与第五齿轮连接， 第五齿轮与第六齿轮啮合，所述的第六齿轮固定在滚珠丝杠的一端，滚珠丝杠可转动地固 定在摆杆底座上，滚珠丝杠上有滑轮，滑轮与机械手臂固定。

本实用新型利用磁流体动密封技术，使真空机械手可以在x-y平面内作360°旋转，还 可以沿x轴或者沿y轴作直线进动，具体过程为：

x-y平面内360°旋转：由转动马达驱动第一齿轮旋转，第一齿轮再带动第二齿轮旋转， 带动磁流体动密封的旋转轴，联动摆杆底座一起转动，使设置在摆杆底座上的机械手臂一 起绕磁流体动密封的中心轴进行360°旋转。

沿x轴或者沿y轴作直线进动：由移动马达驱动磁流体动密封中心轴上端的第三齿轮 转动，第三齿轮驱动第四齿轮，第四齿轮通过第一连接杆联动第五齿轮，来驱动第六齿轮 转动，齿轮联动滚珠丝杠旋转，使滚珠丝杠上的滑轮作直线运动，带动机械手臂与滑轮同 步移动。

本实用新型的真空机械手传动装置允许用户在高真空环境下，通过手动或自动电控， 精确控制机械手臂在真空环境里面的传动走位，定位准确；滚珠丝杠与滑轮配合，降低阻 力，增加运行稳定性；而且，以磁流体动密封的中心轴线为旋转中心，缩小了旋转半径， 适用于多种镀膜机的工件传动。

优选地，所述的第三齿轮和第四齿轮均为锥齿轮，齿轮传动的同时，又改变了运动方 向，缩小了整个真空机械手传动装置的体积。

附图说明

图1是本实用新型真空机械手传动装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

真空机械手传动装置，如图1所示，包括转动马达14、移动马达13、磁流体动密封 10和机械手臂2，磁流体动密封10下端固定有第二连接杆9和第三连接杆16，第二连接 杆9下端与马达固定架12连接，转动马达14和移动马达13都固定在马达固定架12上。 转动马达14的输出轴与第一齿轮15连接，第一齿轮15安装在第三连接杆16下端，第一 齿轮15与第二齿轮11啮合，第二齿轮11与磁流体动密封10的旋转轴10-1下端固定连接， 磁流体动密封10的旋转轴10-1上端固定在摆杆底座17上，所述的摆杆底座17由左侧臂、 右侧壁和横杆组成，大体呈倾倒的J型。所述的磁流体动密封10的旋转轴10-1为筒状； 移动马达13的输出轴与磁流体动密封10的中心轴10-2下端连接，磁流体动密封10的中 心轴10-2从磁流体动密封10的旋转轴10-1中穿出，并在上端安装第三齿轮8，所述的第 三齿轮8为锥齿轮，第三齿轮8与第四齿轮7啮合，第四齿轮7也为锥齿轮，第四齿轮7 通过第一连接杆6与第五齿轮5连接，第一连接杆6右端穿过摆杆底座17的右侧臂与第 五齿轮5连接，第一连接杆6左端伸入磁流体动密封10中与第四齿轮7连接，第五齿轮5 与第六齿轮4啮合，第六齿轮4固定在滚珠丝杠1的一端，滚珠丝杠1可转动地固定在摆 杆底座17的左侧臂和右侧臂上，滚珠丝杠1上有两个滑轮3，两个滑轮3都与固定在机械 手臂2下端。

本实施例的真空机械手传动装置在使用时的步骤为：

通过手动或自动程序精确控制旋转马达14，控制机械手臂2转动到取件位置；然后控 制移动马达13，驱动机械手臂2沿着滚珠丝杠1前进到取件位置；取件后，再次控制移 动马达13，驱动机械手臂2沿着滚珠丝杠1后退到原始位置；然后控制旋转马达14，转 动机械手臂2到“送工件”位置；再次控制移动马达13，驱动机械手臂2前进到送件位 置；送件后，控制移动马达13，驱动机械手臂2后退到原始位置，即完成一次“取件”、 “送件”过程。