[发明专利]运送装置以及真空装置

权利要求书

1.一种运送装置，具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转；

前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，

前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，

前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，

令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔。

2.如权利要求1所述的运送装置，其特征在于，

前述第1以及第2运送机构配置在相同的高度位置。

3.一种运送装置，具有第1运送装置和第2运送装置，

前述第1运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，

令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔，

前述第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，以前述旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与前述第1以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，前述第3以及第4运送机构以相对于前述第1以及第2运送机构不同的高度位置、隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，并且分别被前述第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，前述第3以及第4运送机构具有分别与设在前述第1以及第2运送机构上的前述第1以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，通过该联杆机构使前述第3以及第4运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别向顺时针方向或逆时针方向回转、利用前述联杆机构令前述第3以及第4运送机构以前述旋转轴为中心分别向顺时针方向或逆时针方向回转，从而令前述第3以及第4运送机构离开并且接近，调整前述第3以及第4运送部的间隔。

4.如权利要求3所述的运送装置，其特征在于，

前述第1以及第2运送机构和前述第3以及第4运送机构分别配置在相同的高度位置。

5.一种真空装置，具有真空槽和设在前述真空槽内的运送装置，

前述运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔。

6.如权利要求5所述的真空装置，其特征在于，

具有：分别控制前述第1以及第2回转驱动轴的动作的控制部和一对运送物检测传感器，所述一对运送物检测传感器由与前述控制部连接且设在前述真空槽内的多个传感器构成，分别检测借助前述第1以及第2运送机构的伸长而沿前述运送物运送方向朝向一对运送物配置部分别运送的一对运送物，

前述控制部如下地进行控制，基于比较由前述一对运送物检测传感器检测到的前述一对运送物的位置信息和预先存储于前述控制部的前述一对运送物的位置信息而算出的前述一对运送物的位置坐标的偏差量，驱动前述第1以及第2回转驱动轴而令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别旋转微小角度，从而令前述一对运送物位于本来应该通过的轨迹上而同时进行位置偏差的修正，之后将前述一对运送物分别配置在前述一对运送物配置部上。