[发明专利]运送装置以及真空装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如运送基板等运送物的运送装置，尤其涉及适于半导体制造装置等中的真空装置中的运送装置的技术。

背景技术

图17以及图18用于说明现有技术的课题。

以往，作为真空装置，公知有图17（a）所示那样在四边形的运送室的各边具有两个处理室的装置。

例如图17（a）所示，在该真空处理装置101中，在运送室100周围的边上设有一对处理室102和103、104和105、108和109（附图标记106、107是准备、取出室）。

另一方面，作为这种运送装置，公知有为了提高基板运送的通过量而具有一对基板载置部121、122的运送装置120。

但是，在这种现有技术中，例如大多是处理室102、103的间隔、即基板110、111与运送装置120的基板载置部121、122的间隔不相等，有定位作业困难的课题。

此外，若基板110、111与运送装置120的基板载置部121、122的间隔大，则例如图17（b）所示，不能够将两个基板110、111同时载置在运送装置120的基板载置部121、122上。

在这种情况下，例如图18（a）、图18（b）所示，也通过使运送装置120回转而将基板载置部121、122倾斜，将两个基板110、111逐个载置在基板载置部121、122上。

但是，若进行这种作业，则有通过量降低的课题。

专利文献：日本国特开2013－084823号公报。

发明内容

本发明是为了解决这种现有技术的课题而提出的，其目的在于提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，并且提高基板运送之际的通过量。

为了实现上述目的的本发明的运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转；前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧。

此外，本发明的运送装置中，前述第1以及第2运送机构配置在相同的高度位置。

此外，本发明的运送装置具有第1运送装置和第2运送装置，前述第1运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，前述第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，与前述旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与前述第1以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，前述第3以及第4运送机构以相对于前述第1以及第2运送机构不同的高度位置、隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，并且分别被前述第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，前述第3以及第4运送机构具有分别与设在前述第1以及第2运送机构上的前述第1以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，通过该联杆机构使前述第3以及第4运送机构分别以前述旋转轴为中心回转。

此外，本发明的运送装置中，前述第1以及第2运送机构和前述第3以及第4运送机构分别配置在相同的高度位置。