[发明专利]用于在RF环境中的装置的控制架构有效

专利信息
申请号: 201580001480.6 申请日: 2015-11-05
公开(公告)号: CN107041167B 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: P·克里米诺儿;S·E·巴巴扬;D·A·马洛尔 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H04L25/49 分类号: H04L25/49;H04Q11/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 黄嵩泉
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 rf 环境 中的 装置 控制 架构
【权利要求书】:

1.一种切换系统,包括:

处理装置,所述处理装置用于生成命令,所述命令具有在传导性通信链路上可传输的第一格式;

第一转换器,所述第一转换器耦接至所述处理装置,所述第一转换器用于接收所述命令,并且将所述命令转换为在非传导性通信链路上可传输的第二格式;

第二转换器,所述第二转换器配置成用于在破坏性射频RF环境中操作,所述第二转换器用于接收所述命令并且将所述命令往回转换为在所述传导性通信链路中可传输的所述第一格式,且随后将所述命令传送至脉冲宽度调制PWM电路;以及

所述PWM电路,所述PWM电路耦接至所述第二转换器并且配置成用于在所述破坏性RF环境中操作,所述PWM电路用于基于所述命令来调整用于控制将在所述破坏性RF环境中操作的一个或多个组件的设置。

2.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,所述命令根据多主、多从、单端串行计算机总线的协议来格式化。

3.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,所述处理装置进一步用于生成附加的数字控制信号,并且将所述附加的数字控制信号发送至在所述破坏性RF环境外部的数字装置。

4.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,所述处理装置进一步用于生成附加的模拟控制信号,并且将所述附加的模拟控制信号发送至在所述破坏性RF环境外部的模拟装置。

5.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,所述处理装置进一步用于生成电气切换控制信号,并且其中,耦接至所述处理装置的所述第一转换器或

第三转换器中的至少一者用于将所述电气切换控制信号转换为光学切换控制信号,所述切换系统进一步包括:

第四转换器,所述第四转换器配置成用于在所述破坏性RF环境中操作,所述第四转换器用于接收所述光学切换控制信号,并且将所述光学切换控制信号往回转换为所述电气切换控制信号;以及

开关,所述开关耦接至所述第四转换器,并且配置成用于在所述破坏性RF环境中操作,所述开关用于根据所述电气切换控制信号来接通和断开。

6.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,所述非传导性通信链路包括光纤接口,并且其中,所述第二格式包括光学格式。

7.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,进一步包括:

一个或多个切换装置,所述一个或多个切换装置耦接至所述PWM电路,其中,所述PWM电路用于基于所述设置来确定占空比,并且根据所述占空比来接通和断开所述一个或多个切换装置,并且其中,所述一个或多个切换装置用于在被接通时将功率提供至所述一个或多个组件,并且在被断开时不将功率提供至所述一个或多个切换装置。

8.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,所述一个或多个组件包括电阻式加热组件、加热灯或激光器中的至少一者。

9.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,进一步包括:

一个或多个传感器,所述一个或多个传感器耦接至所述第二转换器,所述一个或多个传感器用于生成测量信号并将所述测量信号提供至所述第二转换器,所述测量信号具有所述第一格式;

其中,所述第二转换器用于将所述测量信号转换为所述第二格式,并且在所述非传导性通信链路上传送所述测量信号;

其中,所述第一转换器用于将所述测量信号往回转换为所述第一格式,并且将所述测量信号传送至所述处理装置;并且

其中,所述处理装置用于基于所述测量信号来执行动作。

10.如权利要求1所述的切换系统,其特征在于,进一步包括:

耦接至所述第二转换器的多个PWM电路,所述多个PWM电路中的每一个PWM电路都用于根据由所述处理装置提供的设置来控制不同的多个组件。

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