[发明专利]玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置有效
申请号: | 201580002192.2 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN105658588B | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 中嶋公彦 | 申请(专利权)人: | 安瀚视特控股株式会社 |
主分类号: | C03B17/06 | 分类号: | C03B17/06;C03B25/12 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 制造 方法 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。
背景技术
以往,提出了使用下拉法制造TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)型的显示器的方法。在下拉法中,在使熔融玻璃流入至成形体后,使该熔融玻璃从成形体的顶部溢出。溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下,在成形体的下端部合流,由此成为片状的玻璃(平板玻璃)。平板玻璃一边被拉伸辊朝下方下拉一边被冷却。冷却后的平板玻璃被切断为所需的长度,而成为玻璃基板。在专利文献1中,公开了如下方法:通过以拉伸应力作用于在成形体的下端部合流而得的平板玻璃的宽度方向的方式进行冷却,而将平板玻璃的板厚维持得均匀。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2013-212987号公报
发明内容
[发明要解决的问题]
由成形体成形而得的平板玻璃具有宽度方向的两侧的端部及被两侧的端部夹着的宽度方向中央区域。关于平板玻璃的宽度方向中央区域(成为玻璃基板的产品的区域)的板厚成为0.4mm以下的薄平板玻璃,由于端部的板厚也薄,端部的保有热量小,所以有在成形体的下端部被急冷,而在成形体的下端部合流的端部彼此分离的担忧。另一方面,如果为了防止端部彼此分离而抑制在成形体的下端部的平板玻璃的冷却量,则也有在成形体的下端部的平板玻璃的粘度变高,而引起平板玻璃在宽度方向上收缩的担忧。因此,必须一边抑制平板玻璃的端部彼此分离,一边抑制平板玻璃在宽度方向上收缩。
因此,本发明的目的在于提供一种能够一边抑制平板玻璃的端部彼此分离,一边抑制平板玻璃在宽度方向上收缩的玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。
[解决问题的技术手段]
本发明提供下述(1)~(4)。
(1)本发明的一态样是一种玻璃基板的制造方法,其特征在于:通过下拉法使熔融玻璃从成形体溢出而成形为平板玻璃,将所述平板玻璃一边向流下方向拉伸一边进行冷却,由此制造玻璃基板;
所述平板玻璃具有宽度方向的端部及被所述端部夹着的宽度方向中央区域,在与具有厚于所述宽度方向中央区域的板厚的厚度的所述端部对向的位置,以与所述端部接触的方式具备一对辊,且
对从所述成形体的下端开始且在所述一对辊的上游位置的所述端部进行冷却的第1冷却速度,比对所述一对辊的下游且所述宽度方向中央区域的温度成为缓冷点以上的温度区域中的所述端部进行冷却的第2冷却速度慢。
(2)在所述(1)中,优选为:将所述成形体的下端的所述端部的粘度设为小于105.7Poise,以所述端部的粘度维持与软化点对应的粘度以上的方式,将所述端部以小于8.3℃/秒的所述第1冷却速度进行冷却,且
以8.3℃/秒~17.5℃/秒的范围的所述第2冷却速度进行冷却。
(3)在所述(1)或所述(2)中,优选为:以所述宽度方向中央区域的板厚成为0.4mm以下的方式成形。
(4)本发明的另一态样是一种玻璃基板的制造装置,其特征在于:通过下拉法使熔融玻璃从成形体溢出而成形为平板玻璃,将所述平板玻璃一边向流下方向拉伸一边进行冷却,由此制造玻璃基板;
所述平板玻璃具有宽度方向的端部及被所述端部夹着的宽度方向中央区域,在与具有厚于所述宽度方向中央区域的板厚的厚度的所述端部对向的位置,以与所述端部接触的方式具备一对辊,
对从所述成形体的下端开始且在所述一对辊的上游位置的所述端部进行冷却的第1冷却速度,比对所述一对辊的下游且所述宽度方向中央区域的温度成为缓冷点以上的温度区域中的所述端部进行冷却的第2冷却速度慢。
[发明的效果]
根据本发明,能够一边抑制平板玻璃的端部彼此分离,一边抑制平板玻璃在宽度方向上收缩。
附图说明
图1是本实施方式的玻璃基板的制造方法的流程图。
图2是表示玻璃基板的制造方法中所使用的玻璃基板的制造装置的示意图。
图3是表示成形装置的概略的概略图(剖视图)。
图4是表示成形装置的概略的概略图(侧视图)。
图5是控制装置的控制框图。
图6是表示平板玻璃的特定高度位置的温度分布的图。
图7是表示平板玻璃的冷却速度的例子的图。
具体实施方式
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