[发明专利]高耐热性聚倍半硅氧烷类感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种聚倍半硅氧烷类共聚物，由化学式1、化学式2及化学式3的化合物共聚合而成，其特征在于，

化学式1：

R₁-R₂-Si(R₃)₃

化学式2：

R₄-R₅-Si(R₆)₃

化学式3：

(R₇)₃Si-R₈-Si(R₇)₃

其中，

R₁选自下组：马来酸酐、衣康酸酐、丁二酸酐、苯酐，

R₂、R₅及R₈分别为独立的碳原子数为1至12个的直链型或支链型亚烷基、碳原子数为6至18个的芳香族或碳原子数为3至18个的脂环族，

R₃、R₆及R₇分别为独立的碳原子数为1至4个的烷氧基，

R₄选自由氢、碳原子数为1至5个的直链型或支链型烷基、苯基、联苯、环己基、联环己基、氧化缩水甘油、环氧环己基、氧杂环丁烷、丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、三氟甲基、乙烯基、碳原子数为1至4个的烷氧基及异氰基组成的组中。

2.根据权利要求1所述的聚倍半硅氧烷类共聚物，其特征在于，R₂、R₅及R₈分别为独立的碳原子数为1至6个的直链型或支链型亚烷基、碳原子数为6至14个的芳香族或脂环族。

3.根据权利要求2所述的聚倍半硅氧烷类共聚物，其特征在于，R₂、R₅及R₈分别为独立的碳原子数为1至4个的直链型或支链型亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚环己基或亚联环己基。

4.一种正性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，包含：

5至50重量百分比的权利要求1所述的聚倍半硅氧烷类共聚物；

2至40重量百分比的萘醌-1，2-二叠氮基-4-磺酸酯或萘醌-1，2-二叠氮基-5-磺酸酯基被取代的感光剂；以及

10至93重量百分比的有机溶剂。

5.根据权利要求4所述的正性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，倍半硅氧烷类共聚物的重均分子量(Mw)为300至100000，倍半硅氧烷类共聚物的分散度为1.0至10.0，倍半硅氧烷类共聚物的酸价为10至400KOHmg/g。

6.根据权利要求4所述的正性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，感光剂通过在酯化母体中使萘醌-1，2-二叠氮基-4-磺酸酯或萘醌-1，2-二叠氮基-5-磺酸酯基取代而成，上述酯化母体选自由9，9-双(4-羟基苯基)芴、双酚-A、4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚、2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，3，4-三羟基苯乙酮、2，3，4-三羟基苯基己基酮、2，4，4’-三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮、2，3，4-三羟基-2’-甲基二苯甲酮、2，2’，4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮、4，4’，4”-三羟基苯基甲烷、4，4’，4”-亚乙基三(2-甲基苯酚)、双(4-羟基苯基)甲基苯基甲烷、1，1，4-三(4-羟基苯基)环己烷、2，2’，3，4，4’-五羟基二苯甲酮、2，2’，3，4，4’，5-六羟基二苯甲酮、2，2’，3，4，4’-五羟基二苯基丙烷及2，2’，3，4，4’，5-六羟基二苯基丙烷组成的组中。