[发明专利]分光器及分光器的制造方法

权利要求书

1.一种分光器，其特征在于，

具备：

光检测元件，其设置有光通过部及光检测部；

支撑体，其以在与所述光通过部及所述光检测部之间形成空间的方式固定于所述光检测元件；

第1反射部，其设置于所述支撑体，且在所述空间中，将通过了所述光通过部的光反射；

第2反射部，其设置于所述光检测元件，且在所述空间中，将由所述第1反射部反射的光反射；以及

分光部，其设置于所述支撑体，且在所述空间中，将由所述第2反射部反射的光相对于所述光检测部进行分光并反射，

所述分光部设置于形成于所述支撑体的凹部的内面。

2.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，

所述光通过部、所述第1反射部、所述第2反射部、所述分光部及所述光检测部在自通过所述光通过部的光的光轴方向观察的情况下，沿基准线排列，

所述分光部具有沿所述基准线排列的多个光栅槽，

所述光检测部具有沿所述基准线排列的多个光检测通道。

3.如权利要求1或2所述的分光器，其特征在于，

所述第1反射部为平面镜。

4.如权利要求1或2所述的分光器，其特征在于，

所述第1反射部为凹面镜。

5.如权利要求1至4中任一项所述的分光器，其特征在于，

在所述光检测元件，设置有捕捉由所述分光部分光并反射的光中的0次光的0次光捕捉部。

6.如权利要求1至5中任一项所述的分光器，其特征在于，

在所述支撑体，设置有电连接于所述光检测部的配线，

所述配线上的所述光检测部侧的端部在所述光检测元件与所述支撑体的固定部上，连接于设置于所述光检测元件的端子。

7.如权利要求1至6中任一项所述的分光器，其特征在于，

所述支撑体的材料为陶瓷。

8.如权利要求1至7中任一项所述的分光器，其特征在于，

所述空间由包含作为构成的所述光检测元件及所述支撑体的封装体而被气密地密封。

9.如权利要求1至7中任一项所述的分光器，其特征在于，

所述空间由收纳所述光检测元件及所述支撑体的封装体而被气密地密封。

10.一种分光器的制造方法，其特征在于，

包含：

第1工序，其准备设置有第1反射部及分光部的支撑体，所述分光部设置于形成于所述支撑体的凹部的内面；

第2工序，其准备设置有光通过部、第2反射部及光检测部的光检测元件；以及

第3工序，其在所述第1工序及所述第2工序之后，以形成空间的方式将所述支撑体与所述光检测元件固定，由此在所述空间内形成通过了所述光通过部的光由所述第1反射部反射，由所述第1反射部反射的光由所述第2反射部反射，由所述第2反射部反射的光由所述分光部分光并反射，由所述分光部分光并反射的光入射至所述光检测部的光路。