[发明专利]分光器及分光器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种将光进行分光并检测的分光器、及分光器的制造方法。

背景技术

例如，在专利文献1中记载有一种分光器，其具备：光入射部；分光部，其将自光入射部入射的光进行分光并反射；光检测元件，其对由分光部进行分光并反射的光进行检测；以及箱状的支撑体，其支撑光入射部、分光部及光检测元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-298066号公报

发明内容

发明所要解决的问题

对于如上所述的分光器而言，对应于用途的扩大而要求进一步的小型化。但是，分光器越是小型化，则越会因各种原因而导致分光器的检测精度容易降低。

因此，本发明的目的在于提供一种可抑制检测精度的降低且可谋求小型化的分光器、及可容易地制造这样的分光器的分光器的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的分光器具备：光检测元件，其设置有光通过部及光检测部；支撑体，其以在与光通过部及光检测部之间形成空间的方式固定于光检测元件；第1反射部，其设置于支撑体，且在空间中，将通过了光通过部的光反射；第2反射部，其设置于光检测元件，且在空间中，将由第1反射部反射的光反射；以及分光部，其设置于支撑体，且在空间中，将由第2反射部反射的光相对于光检测部进行分光并反射。

在该分光器中，在由光检测元件及支撑体所形成的空间内，形成有自光通过部至光检测部的光路。由此，可谋求分光器的小型化。再有，通过光通过部的光依序由第1反射部及第2反射部反射而入射至分光部。由此，容易调整入射至分光部的光的入射方向、及该光的扩散至收敛状态，因而即使使自分光部至光检测部的光路长度变短，也可将由分光部进行分光的光精度良好地聚光于光检测部的规定位置。由此，根据该分光器，可抑制检测精度的降低且可谋求小型化。

在本发明的一个方面的分光器中，也可为光通过部、第1反射部、第2反射部、分光部及光检测部在自通过光通过部的光的光轴方向观察的情况下，沿基准线排列，分光部具有沿基准线排列的多个光栅槽，光检测部具有沿基准线排列的多个光检测通道。根据该构成，可使由分光部进行分光的光更精度良好地聚光于光检测部的各光检测通道。

在本发明的一个方面的分光器中，第1反射部也可为平面镜。根据该构成，通过使通过光通过部的光的入射NA变小且设为“具有与通过光通过部的光所具有的扩散角相同的扩散角的光的光路长度、即自光通过部至分光部的光路长度”＞“自分光部至光检测部的光路长度”」(缩小光学系统)，从而可提高由分光部进行分光的光的分辨率。

在本发明的一个方面的分光器中，第1反射部也可为凹面镜。根据该构成，可利用第1反射部抑制光的扩散角，因而可使通过光通过部的光的入射NA变大且提高灵敏度，或可使自分光部至光检测部的光路长度更短而谋求分光器的进一步的小型化。

在本发明的一个方面的分光器中，也可为在光检测元件设置有捕捉由分光部进行分光并反射的光中的0次光的0次光捕捉部。根据该构成，可抑制0次光成为杂散光而导致检测精度降低。

在本发明的一个方面的分光器中，也可为在支撑体设置有电连接于光检测部的配线，配线上的光检测部侧的端部在光检测元件与支撑体的固定部上连接于设置在光检测元件的端子。根据该构成，可谋求光检测部与配线的电连接的可靠化。

在本发明的一个方面的分光器中，支撑体的材料也可为陶瓷。根据该构成，可抑制因使用分光器的环境的温度变化等而引起的支撑体的膨胀及收缩。因此，可抑制因分光部与光检测部的位置关系产生偏移而引起的检测精度的降低(利用光检测部所检测出的光的峰值波长的偏移等)。

在本发明的一个方面的分光器中，也可为空间由包含作为构成的光检测元件及支撑体的封装体而气密地密封。根据该构成，可抑制因由湿气所致的空间内的构件劣化及由外部气温降低所致的空间内产生结露等而引起的检测精度的降低。

在本发明的一个方面的分光器中，也可为空间由收纳光检测元件及支撑体的封装体而气密地密封。根据该构成，可抑制因由湿气所致的空间内的构件劣化及由外部气温降低所致的空间内产生结露等而引起的检测精度的降低。