[发明专利]传感器单元、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种传感器单元、电子设备以及移动体，所述传感器单元可靠性较高、且即使针对被安装物的振动而检测精度也较为稳定。传感器单元(100)的特征在于，具备：传感器模块(25)，其被构成为包括安装有惯性传感器(17x、17y、17z、18)的基板(15)、和搭载有基板(15)的内壳(20)；外壳(1)，其对传感器模块(25)进行收纳，在内壳(20)上形成有凹部(31)，在从基板(15)的厚度方向进行观察的俯视观察时，在与凹部(31)重叠的区域内配置有惯性传感器(17x、17y、17z、18)，且在由基板(15)以及凹部(31)所形成的空间内填充有填充部件(50)，并且传感器模块(25)经由接合部件(10)而与外壳(1)的底壁(5)接合。

技术领域

本发明涉及一种传感器单元、具备该单元的电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为搭载有对基于预定的检测轴的惯性进行检测的惯性传感器的传感器单元，已知一种如下的传感器单元(装置)，即，如图27所示，具有在箱状的壳体80的内部搭载了角速度传感器83的结构的传感器单元91(装置)。详细而言，采用了在箱状的壳体80的内部的底面81上对安装有角速度传感器83的基板82进行直接固定的结构。角速度传感器83在半导体基板上利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统)技术而形成具有锤部或梳齿状的电极的梳齿致动器84，并且以电的形式(例如，作为电容变化)读取通过在施加角速度时所发挥作用的科里奥利力而产生的变动。

另一方面，在这种的现有结构中，存在如下问题，即，容易受到从被安装面85(装置)传递来的固有的振动(噪声振动)的影响，并且也无法否认对检测精度造成的影响。例如，在将传感器单元91安装在导航系统上的情况下，因汽车的发动机动作而引起的噪声振动可能会从壳体80的底面81直接传递至角速度传感器83。这不仅限定于角速度传感器的封装件结构，在加速度传感器等惯性传感器整体的封装件结构中也是共同的问题。

鉴于上述问题，在专利文献1中提出了如图28～图30所示的传感器装置。在图28的传感器装置92中，采用了如下结构，即，作为将壳体80倒置了(垂直反转)的状态，从壳体80的底面81通过金属制的弹簧86而将包括角速度传感器83在内的基板82悬吊的结构。此外，在图29的传感器装置93中，采用了利用柔性基板87而从壳体80的外周缘将包括角速度传感器83在内的基板82悬吊的结构。此外，在图30的传感器装置94中，采用如下结构，即，在壳体80内部的周缘部上形成阶梯状的高低差88，并从该高低差88引出多个接合引线89，并且将包括角速度传感器83在内的基板82悬吊的结构。根据该文献，通过传感器装置92～94的结构，而能够充分地衰减噪声振动的影响。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-194681号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在专利文献1的传感器装置92～94中，存在缺乏可靠性且获得稳定的检测精度较为困难的课题。详细而言，由于即使在传感器装置92～94中的任意一个结构中，均成为包含角速度传感器83的基板82的位置在壳体80的内部悬浮的状态，因此由于自重或时效性的变化而角速度传感器83将会发生倾斜。当角速度传感器83发生倾斜时，由于因重力的影响而梳齿致动器84将会发生偏置，因此将会影响检测结果，从而缺乏可靠性。

此外，在通过弹簧86而将基板82悬吊的结构的情况下，由于噪声振动的影响而基板82可能进行上下振动。该上下振动也可能对检测结果造成影响，从而获得稳定的检测精度较为困难。另外，由于即使在传感器装置93、94中也采用通过具有弹性的部件将基板82悬吊的结构，从而也会产生由噪声振动的影响而造成的基板82的振动，因此，同样地获得稳定的检测精度较为困难。

用于解决课题的方法