[发明专利]谐振器以及谐振装置

说明书

本发明提供一种抑制由振动部的不必要振动引起的保持体的振动，并且能够实现小型化的谐振器以及谐振装置。上述谐振器具备：振动部，其具有半导体层、形成在半导体层上的第一压电膜、以及形成于第一压电膜的上部的第一上部电极；保持体，其将振动部保持为能够振动；连结部，其连结振动部和保持体；以及振动抑制部，其具有形成在保持体上的第二压电膜和形成于第二压电膜的上部的第二上部电极。

技术领域

本发明涉及谐振器以及谐振装置。

背景技术

在电子设备中，作为用于实现计时功能的设备，使用谐振器。随着电子设备的小型化，谐振器也被要求小型化，从而使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术制造的谐振器(以下，称为“MEMS振子”。)备受关注。

在这样的谐振器中，将振动部构成为经由连结部被保持体保持为能够振动。以往，在这样的谐振器中，为了避免振动部的振动对于保持体传递为泄露振动，实施了各种方法。

例如，在专利文献1中，对于使用了宽度扩展振动的谐振器，在与节点连接的保持臂形成动态减震构造来抑制朝向保持体的振动的泄漏。另外，在专利文献2中，在轮廓振子与保持体之间附加辅助臂和连结部，由此防止振动的泄漏。

专利文献1：日本特开平7-7361号公报

专利文献2：日本特开2008-166903号公报

然而，在专利文献1以及专利文献2中，均是利用连结部来抑制来自振动部的不必要振动的结构，通过设置使连结部吸收振动的辅助部来防止从振动部朝向保持体的振动泄漏。因此，连结部的形状复杂且尺寸增大，谐振器整体的小型化较困难。另外，也存在连结部的强度降低这样的课题。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种抑制由振动部的不必要振动引起的保持体的振动，并且能够实现振动部的小型化的谐振器以及谐振装置。

本发明的一个方面所涉及的谐振器具备：振动部，其具有半导体层、形成在半导体层上的第一压电膜、和形成于第一压电膜的上部的第一上部电极；保持体，其将振动部保持为能够振动；连结部，其连结振动部和保持体；以及振动抑制部，其形成在保持体上，具有第二压电膜和形成于第二压电膜的上部的第二上部电极。

根据本发明，能够提供一种抑制由振动部的不必要振动引起的保持体的振动，并且能够实现小型化的谐振器以及谐振装置。

附图说明

图1是表示第一实施方式的压电谐振器的整体结构的立体图。

图2是表示第一实施方式的压电谐振器的其它方式的A-A剖视图。

图3是图1的压电谐振器的保持体与振动抑制部的局部剖视图。

图4是表示用于对第一实施方式的压电谐振器的效果进行说明的比较例的图。

图5是表示第一实施方式的压电谐振器的效果的图。

图6是第二实施方式的压电谐振器的保持体与振动抑制部的局部剖视图。

图7是表示第三实施方式的压电谐振装置的整体结构的立体分解图。

图8是表示其它实施方式的压电谐振器的结构的俯视示意图。

图9是表示其它实施方式的压电谐振器的结构的俯视示意图。

图10是表示其它实施方式的压电谐振器的结构的立体图。

图11是图10的B-B剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。