[发明专利]准直评价装置和准直评价方法

权利要求书

1.一种准直评价装置，其特征在于：

具有：

第一反射部件，具有使入射光的一部分反射的第一反射面和使该入射光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面；和

第二反射部件，具有使从所述第一反射部件射出的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面，

所述第一反射部件配置成使透过所述第二反射部件的所述入射光入射，使该入射光的一部分在所述第一反射面反射，使该入射光中透过所述第一反射面的光在所述第二反射面反射，

根据利用在所述第一反射部件的所述第一反射面和所述第二反射部件的所述第二反射面反射的光以及在所述第一反射部件的所述第二反射面和所述第二反射部件的所述第一反射面反射的光形成的干涉条纹的方位，对所述入射光的准直进行评价。

2.如权利要求1所述的准直评价装置，其特征在于：

在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，

起因于所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者中的所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行的干涉条纹的方位和起因于所述入射光的非平行性的干涉条纹的方位相互不同。

3.如权利要求1或2所述的准直评价装置，其特征在于：

所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者包含将相互相对的2个面作为所述第一反射面和所述第二反射面而具有的平板。

4.如权利要求1或2所述的准直评价装置，其特征在于：

所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者包含具有所述第一反射面的第一平板和相对于该第一平板并列配置且具有所述第二反射面的第二平板。

5.如权利要求4所述的准直评价装置，其特征在于：

所述第一平板与所述第二平板之间的间隔是可变的。

6.如权利要求1或2所述的准直评价装置，其特征在于：

在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，

所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者在与所述第一反射面或所述第二反射面大致垂直的轴的周围自如转动。

7.如权利要求3所述的准直评价装置，其特征在于：

在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，

所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者在与所述第一反射面或所述第二反射面大致垂直的轴的周围自如转动。

8.如权利要求4所述的准直评价装置，其特征在于：

在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，

所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者在与所述第一反射面或所述第二反射面大致垂直的轴的周围自如转动。

9.如权利要求5所述的准直评价装置，其特征在于：

在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，

所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者在与所述第一反射面或所述第二反射面大致垂直的轴的周围自如转动。