[发明专利]准直评价装置和准直评价方法

说明书

第一反射部件(10)在透过第二反射部件(20)的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(11)反射，使该光中透过第一反射面(11)的光在第二反射面(12)反射，使这些反射光成分向相反方向射出。第二反射部件(20)在从第一反射部件(10)射出的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(21)反射，使该光中透过第一反射面(21)的光在第二反射面(22)反射，使这些反射光成分射出。利用在第一反射部件(10)的第一反射面(11)和第二反射部件(20)的第二反射面(22)反射的光(L₁₂)与在第一反射部件(10)的第二反射面(12)和第二反射部件(20)的第一反射面(21)反射的光(L₂₁)，在屏(30)上形成干涉条纹。由此，能够实现即使光的可干涉距离短时也能够更高灵敏度地评价该光的准直的装置和方法。

技术领域

本发明涉及对光的准直(collimation)进行评价的装置和方法。

背景技术

在各种各样的光学系统中，将从点光源(包括可以看做点光源的光源)射出的发散光变换成平行光(准直)的频率高。作为点光源，例如可以列举激光二极管、光纤射出端等。通过适当地设定点光源与准直光学系统之间的距离，能够利用准直光学系统将从点光源射出的发散光变换成平行光。在专利文献1、2中记载了对这样生成的平行光的平行度(准直的程度)进行评价的技术。

其中，专利文献1所记载的技术使用具有相互不平行的第一反射面和第二反射面的共享板，能够对光的准直进行简便地评价。即，使用共享板的准直评价装置能够使在共享板的第一反射面反射的光和透过共享板的第一反射面而在第二反射面反射的光在屏(screen)上发生干涉，根据其屏上的干涉条纹的方位，对光的准直进行评价。其中，有时共享板也被称为共用板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-336914号公报

专利文献2：日本专利第4114847号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在上述那样的使用共享板的准直评价装置中，为了更高灵敏度地对屏上的干涉条纹的方位的变化进行检测，希望使共享板的厚度变大，还希望使共享板的2个反射面相互形成的角度(楔形角)变小。其中，因为对干涉条纹间隔有影响，所以在某种程度上利用适用于准直评价的干涉条纹间隔决定楔形角。因此，为了灵敏度的提高，使共享板的厚度变大。

在共享板的2个反射面分别反射且到达屏的两个光成分之间产生光程差。共享板的厚度越大，其光程差越大。另一方面，能够在屏上对干涉条纹进行观测是与准直评价对象的光的可干涉距离(相干长度)相比，光程差短的情况。

例如，从HeNe激光光源输出的CW激光的可干涉距离为100mm数量级。从固体激光光源输出的脉冲宽度40ns的脉冲激光的可干涉距离为数mm。另外，从光纤激光光源输出的脉冲宽度40ns的脉冲激光的可干涉距离为1mm以下。通常，对于从固体激光光源和光纤激光光源输出的短脉冲的激光，利用多纵模和频谱扩展，使可干涉距离变短。

为了提高灵敏度而使共享板的厚度变大时，光程差会变大，不能进行与该光程差相比可干涉距离短的光的准直评价。这样，在目前使用共享板的准直评价装置中，对可干涉距离短的光的准直进行更高灵敏度地评价是困难的。

本发明是为了解决上述问题而完成的发明，其目的在于，提供即使准直评价对象的光的可干涉距离短时也能够对该光的准直进行更高灵敏度地评价的装置和方法。

解决课题的技术手段