[发明专利]光学元件的倾斜有效
申请号: | 201580042004.9 | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN106662726B | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | B.普尼尼-米特勒 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G02B26/08;G03F7/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 侯宇 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 元件 倾斜 | ||
1.一种光学单元,具有
光学元件(109;209)和
支撑装置(111),其中,
光学元件(109;209)具有光学表面(109.1;209.1),所述光学表面定义主延伸平面(PME)和在主延伸平面(PME)中的主延伸方向,
支撑装置(111)包括支撑单元和促动器单元(113),
促动器单元(113)设计用于使光学表面倾斜,方式为通过促动器单元(113)在光学元件(109;209)上施加倾斜力矩(M1),
其特征在于,
倾斜力矩(M1)倾斜于主延伸平面(PME)地延伸并且
支撑单元(112;212)设计用于在光学表面由于促动器单元(113)的倾斜力矩(M1)倾斜时预设用于光学表面(109.1;209.1)的倾斜轴线(TA1、TA2),所述倾斜轴线基本上处于光学表面的主延伸平面(PME)中。
2.按权利要求1所述的光学单元,其中,所述光学表面(109.1;209.1)是长条形的。
3.按权利要求1所述的光学单元,其中,所述光学单元是分段镜单元。
4.按权利要求1所述的光学单元,其中,
支撑单元(112;212)设计为,使得用于光学表面(109.1;209.1)的倾斜轴线(TA1、TA2)基本上与主延伸方向平行地延伸,
或
倾斜力矩(M1)相对于光学表面的主延伸平面(PME)和/或主延伸方向倾斜1°至30°,
或
用于光学表面(109.1;209.1)的倾斜轴线(TA1、TA2)在至少一个倾斜轴线点基本上处于光学表面上。
5.按权利要求4所述的光学单元,其中,用于光学表面(109.1;209.1)的倾斜轴线(TA1、TA2)处于光学表面的在倾斜轴线点中定义的切平面中。
6.按权利要求4所述的光学单元,其中,支撑单元(112;212)设计为,使得用于光学表面(109.1;209.1)的倾斜轴线(TA1、TA2)与主延伸方向在同一条直线上地延伸。
7.按权利要求4所述的光学单元,其中,倾斜力矩(M1)相对于光学表面的主延伸平面(PME)和/或主延伸方向倾斜5°至20°。
8.按权利要求4所述的光学单元,其中,倾斜力矩(M1)相对于光学表面的主延伸平面(PME)和/或主延伸方向倾斜8°至15°。
9.按权利要求1或2所述的光学单元,其中,
支撑单元(112;212)设计为通过被动元件定义倾斜轴线(TA1、TA2)的被动装置,
或
支撑单元(112;212)包括至少两个至少能够区段性地弹性变形的支撑元件(112.1至112.4;212.12),所述支撑元件定义倾斜轴线(TA1、TA2),
或
支撑单元(112;212)包括基础元件(112.7;212.7)和至少两个支撑元件(112.1至112.4;212.12),其中,通过支撑元件(112.1至112.4;212.12)在至少一个运行状态中将光学元件(109;209)的重力的至少80%导入基础元件(112.7;212.7)中,
或
支撑单元(112;212)包括至少一个导引单元(215;315),所述导引单元与光学元件(109;209)相连并且为了定义倾斜轴线(TA1、TA2)限定光学元件(109;209)的至少两个运动自由度,
或
支撑单元(112;212)包括至少一个导引单元(215;315),所述导引单元与光学元件(109;209)相连并且为了定义倾斜轴线(TA1、TA2)设计为,使得其承接垂直于光学表面的主延伸平面(PME)作用的倾斜力矩分量。
10.按权利要求9所述的光学单元,其中,支撑单元(112;212)包括基础元件(112.7;212.7)和至少三个支撑元件(112.1至112.4;212.12)。
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