[发明专利]数据处理装置、求取各像素的特性的方法以及数据处理的方法及程序

说明书

本发明提供一种能够省去对校正表格进行重新设定的劳力和时间，使用户能立刻在期望的条件下测定X射线强度数据的数据处理装置、求取各像素的特性的方法、以及数据处理的方法及程序。对由像素检测器测定到的X射线强度数据进行校正的数据处理装置(100)具备：存储特定的检测器的各像素的特性的特性存储部(130)；将作为利用特定的检测器进行测定时的条件来输入的测定条件以及表示各像素的特性的值应用于表示各像素处的计数值的近似表达式，使用近似表达式的计算结果来生成针对特定的检测器的校正表格的校正表格生成部(120)；和使用所生成的校正表格，对由特定的检测器测定到的X射线强度数据进行校正的校正部(160)。

技术领域

本发明涉及对由像素检测器测定到的X射线强度数据进行校正的数据处理装置、求取各像素的特性的方法以及数据处理的方法及程序。

背景技术

近年来，在X射线强度的测定中使用光子计数型的半导体检测器。在这种检测器中，各像素(包括带(strip))分别具有特性，即使一致地照射X射线，对于每个像素，也在增益、行为或者灵敏度上产生差别，出现各自的偏差(例如参照专利文献1)。

因此，装置制造商在测定装置发货之前对检测器照射固定强度的一致的X射线，并配合特定的测定条件来制作对各像素的增益、计数值的差进行校正(一致性校正)的校正表格、将不良的像素排除的校正表格，或者制作能在几个测定条件下使用的通用的表格(例如参照专利文献2、3)。图13、图14分别示意性地示出一致性校正、用于进行将不良像素排除的校正的校正表格的例子。而且，以往，在校正中使用这种校正表格的集合。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2005/0259790号说明书

专利文献2：美国专利第6792159号说明书

专利文献3：美国专利第5272536号说明书

发明内容

发明所要解决的课题

但是，上述那样的校正表格的集合仅能在调整时所设想的条件内使用。而且，会有以下情况出现：即使是乍看正常的像素，如果进行长时间曝光也会产生噪声，或者如果入射与一致性校正时显著不同的计数值的X射线，则校正值也会发生偏离。这样，当想要在与当初的设想不同的条件下进行测定时，必须由装置制造商侧收回装置并重新制作校正表格。

例如，预先在测定装置中设定使用温度，将使用温度的±10℃作为容许温度范围，如果在该范围内使用，则数据就会得到保证。在想要以超出该保证范围15℃以上的温度来使用的情况下，将测定装置留存给装置制造商，对校正表格进行调整。不仅是有赖于这种设置场所变更等的使用环境的温度，而且如果是X射线的射线源的种类、X射线的线管的能量(波长)、测定时的能量阈值等变成发货时的设想之外，就需要新的表格。

此外，即使是在规格的容许温度的范围内，也会有变动，但有时会忽略这种变动，或者略多一些地设定补偿像素以便能在该全部范围内使用。虽然只要准备将任意条件下产生的不良像素假定为一贯的不良像素的表格，在图像中就不会有问题，但由于在使用该表格时会比必要更多地将像素的X射线强度搁置不用，因此无效率。这样，根据无效率的最大公约数的方法，必须预先准备能在条件的范围之中最大使用的表格。

本发明正是鉴于这种情况而完成的，其目的在于，提供一种能够省去重新设定校正表格的劳力和时间，使用户能立刻在期望的条件下测定X射线强度数据的数据处理装置、求取各像素的特性的方法以及数据处理的方法及程序。

用于解决课题的手段