[发明专利]半导体装置及其制造方法和挠性树脂层形成用树脂组合物有效
申请号: | 201580046120.8 | 申请日: | 2015-11-16 |
公开(公告)号: | CN106663638B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 柴田智章;赖华子;峰岸知典;阿部秀则;增子崇;大竹俊亮 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/29;H05K3/28;C08J5/18;C08L25/04;C08L75/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 树脂 形成 组合 | ||
1.一种制造半导体装置的方法,所述半导体装置具备电路基板,所述电路基板具有挠性基板、安装于所述挠性基板上的电路部件和密封所述电路部件的挠性树脂层,
该方法具备:
通过将密封材料层叠于所述挠性基板而用所述密封材料密封所述电路部件的工序;和
通过使所述密封材料固化而形成所述挠性树脂层的工序,
所述密封材料为含有:(A)包含热塑性聚氨酯或苯乙烯系弹性体中的至少任一者的弹性体、(B)聚合性化合物及(C)聚合引发剂的树脂组合物,
所述聚合性化合物包含(甲基)丙烯酸酯和/或芳基化乙烯。
2.一种制造半导体装置的方法,所述半导体装置具备电路基板,所述电路基板具有挠性基板、安装于所述挠性基板上的电路部件和密封所述电路部件的挠性树脂层,
该方法具备:
通过将密封材料印刷于所述挠性基板而用所述密封材料密封所述电路部件的工序;和
通过使所述密封材料固化而形成所述挠性树脂层的工序,
所述密封材料为含有:(A)包含热塑性聚氨酯或苯乙烯系弹性体中的至少任一者的弹性体、(B)聚合性化合物及(C)聚合引发剂的树脂组合物,
所述聚合性化合物包含(甲基)丙烯酸酯和/或芳基化乙烯。
3.一种制造半导体装置的方法,所述半导体装置具备电路基板,所述电路基板具有挠性基板、安装于所述挠性基板上的电路部件和密封所述电路部件的挠性树脂层,
该方法具备:
通过在密封材料中浸渍所述挠性基板并将其干燥而用所述密封材料密封所述电路部件的工序;和
通过使所述密封材料固化而形成所述挠性树脂层的工序,
所述密封材料为含有:(A)包含热塑性聚氨酯或苯乙烯系弹性体中的至少任一者的弹性体、(B)聚合性化合物及(C)聚合引发剂的树脂组合物,
所述聚合性化合物包含(甲基)丙烯酸酯和/或芳基化乙烯。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的方法,还具备切割所述电路基板的工序。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的方法,其中,所述挠性基板及所述挠性树脂层在可见区域为透明。
6.根据权利要求1~3中任一项所述的方法,其中,所述电路部件为两种以上。
7.一种半导体装置,其通过权利要求1~3中任一项所述的方法得到。
8.一种挠性树脂层形成用树脂组合物,含有:(A)包含热塑性聚氨酯或苯乙烯系弹性体中的至少任一者的弹性体、(B)聚合性化合物及(C)聚合引发剂,
所述聚合性化合物包含(甲基)丙烯酸酯和/或芳基化乙烯,
(A)弹性体的含量相对于(A)弹性体及(B)聚合性化合物的总量为50质量%~90质量%。
9.根据权利要求8所述的挠性树脂层形成用树脂组合物,其中,(A)弹性体包含所述热塑性聚氨酯。
10.根据权利要求8所述的挠性树脂层形成用树脂组合物,其中,(A)弹性体包含所述苯乙烯系弹性体。
11.根据权利要求8~10中任一项所述的挠性树脂层形成用树脂组合物,其中,(C)聚合引发剂为光自由基聚合引发剂。
12.根据权利要求8~10中任一项所述的挠性树脂层形成用树脂组合物,其中,
(B)聚合性化合物的含量相对于(A)弹性体及(B)聚合性化合物的总量为10质量%~50质量%,
(C)聚合引发剂的含量相对于(A)弹性体及(B)聚合性化合物的总量100质量份为0.1质量份~10质量份。
13.根据权利要求8~10中任一项所述的挠性树脂层形成用树脂组合物,其中,该树脂组合物为密封材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造