[发明专利]极紫外（EUV）辐射源

权利要求书

1.一种用于产生极紫外(EUV)辐射的装置，所述装置包括：

极紫外(EUV)辐射源粒料产生器，被配置为产生EUV辐射粒料，所述EUV辐射粒料包含：

至少一个金属颗粒；

重惰性气体团簇，被嵌入有所述至少一个金属颗粒；以及

惰性气体壳团簇，被嵌入有所述重惰性气体团簇并且包含选自He、Ne和Ar的轻惰性气体的团簇；以及

至少一个照射源，其中所述至少一个照射源中的每个照射源被配置成朝着所述EUV辐射粒料的路径来照射激光束。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个照射源包括：

第一激光源，被配置成在所述EUV辐射粒料的所述路径中的第一点处照射第一激光束；以及

第二激光源，被配置成在所述EUV辐射粒料的所述路径中的第二点处照射第二激光束，与所述第一点距离产生所述EUV照射粒料的位置相比，所述第二点更远离于所述位置。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述第二激光束的强度比所述第一激光束的强度大至少两倍。

4.根据权利要求2所述的装置，其中所述第二激光束具有比所述第一激光束长的波长。

5.根据权利要求2所述的装置，其中所述第二激光束是来自CO2激光器的激光束，且所述第一激光束具有短于800nm的波长。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述EUV辐射源粒料产生器包括：

液滴产生器单元，被配置为沿着液滴传输路径来发射所述轻惰性气体He、Ne和Ar的团簇；

金属颗粒产生器，被配置成沿着金属颗粒束方向来发射所述至少一个金属颗粒，所述金属颗粒束方向在第一相交区域处与所述液滴传输路径相交；以及

重惰性气体团簇束产生器，被配置成沿着重惰性气体团簇束方向来发射所述重惰性气体的团簇，所述重惰性气体团簇束方向在第二相交区域处与所述液滴传输路径相交。

7.根据权利要求6所述的装置，其中与所述第二相交区域至发射所述轻惰性气体的团簇的位置相比，所述第一相交区域更靠近于所述位置。

8.根据权利要求6所述的装置，其中与所述第一相交区域距离发射所述轻惰性气体的团簇的位置相比，所述第二相交区域更靠近于所述位置。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述EUV辐射源粒料的所述路径是基本竖直向下的路径。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，在所述EUV辐射源粒料的每个中，所述轻惰性气体的原子总数比在所述重惰性气体团簇中的重惰性气体原子的总数大至少两倍。

11.一种极紫外(EUV)辐射源粒料，包括：

至少一个金属颗粒；

重惰性气体团簇，被嵌入有所述至少一个金属颗粒；以及

惰性气体壳团簇，被嵌入有所述重惰性气体团簇并且包含选自He、Ne和Ar的轻惰性气体的团簇。

12.根据权利要求11所述的EUV辐射源粒料，其中所述轻惰性气体的原子总数比在所述重惰性气体团簇中的重惰性气体原子的总数大至少两倍。

13.根据权利要求11所述的EUV辐射源粒料，在所述重惰性气体团簇中的重惰性气体原子的总数比在所述至少一个金属颗粒中的所述原子的总数大至少十倍。

14.根据权利要求11所述的EUV辐射源粒料，其中所述至少一个金属颗粒是多个金属颗粒。

15.根据权利要求14所述的EUV辐射源粒料，其中所述多个金属颗粒分散在所述重惰性气体团簇内。