[发明专利]离子过滤器以及其制造方法

说明书

本发明涉及离子过滤器以及其制造方法。构成为具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层(13)、和沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔30，并使第一导电层(12)的第一厚度(th1)和第二导电层(13)的第二厚度(th2)不同。

技术领域

本发明涉及使用于电子放大器的离子过滤器以及其制造方法。

关于承认通过参照文献而引用的指定国，将2014年9月17日在日本申请的日本特愿2014－189317号所记载的内容通过参照而引入本说明书，并作为本说明书的记载的一部分。

背景技术

已知一种具备电子放大膜的气体电子放大器(专利文献1)。

专利文献1:日本特开2007－234485号公报

这种气体电子放大器使检测对象的放射线入射，使用具备许多的贯通孔的电子放大膜，利用电子雪崩效应使因放射线与气体的光电效应而产生的相互作用而从气体原子飞出的电子放大，对其电信号进行检测。

在使电子放大时，产生与放大的电子数目相同的阳离子。因电子放大膜的贯通孔内部的电场的影响，阳离子向与电子的移动方向相反方向行进。

另外，由于质量相对较大的阳离子的移动速度比电子的移动速度慢，所以存在气体电子放大器的内部中以取决于电子放大膜的形状的形状(例如平板状)集中而滞留，生成电场的情况。

由于因阳离子而形成的电场使测量的电子的移动方向发生变化，所以产生给时间投影室(TPC：Time Projection Chamber)等气体检测器的检测精度带来影响的、所谓阳离子问题。

对于该阳离子问题，以往已知通过在电子放大器上设置线电极，并利用从线电极产生的电场来防止阳离子的行进的手法。

然而，产生在高磁场下所使用的线电极的附近产生E×B effect，移动的电子的轨道在线电极的附近扭曲这样的其它的问题。

另外，在防止阳离子的行进时，若甚至妨碍了电子的移动，则存在检测精度降低这个问题。

这样，在以往，寻求一种抑制给电子的移动以及移动的电子的轨道带来的影响，并且防止阳离子的行进的手段。

本发明要解决的课题是提供一种抑制给电子的移动以及移动的电子的轨道带来的影响，并且防止阳离子的行进的离子过滤器。

发明内容

[1]本发明通过提供一种离子过滤器来解决上述课题，该离子过滤器是使用于电子放大器的离子过滤器，并具有：绝缘性基材；第一导电层，形成在上述绝缘性基材的一个主面上；第二导电层，形成在上述绝缘性基材的另一主面上；以及多个贯通孔，沿着上述绝缘性基材的厚度方向而形成，上述第一导电层的第一厚度和上述第二导电层的第二厚度不同。

[2]在上述发明中，通过如下那样构成而解决上述课题，即，将上述绝缘性基材的一个主面配置于上述电子放大器中的电子的移动方向的下游侧，将上述绝缘性基材的另一主面配置于上述电子放大器中的电子的移动方向的上游侧，并使形成在上述绝缘性基材的一个主面上的上述第一导电层的上述第一厚度比上述第二导电层的上述第二厚度厚。

[3]在上述发明中，通过如下那样构成而解决上述课题，即，上述离子过滤器与上述电子放大器具备的电子放大膜配合设置，将上述绝缘性基材的一个主面配置于上述电子放大膜侧，并使形成在该一个主面上的上述第一导电层的上述第一厚度比形成在上述另一主面上的上述第二导电层的上述第二厚度厚。

[4]在上述发明中，通过由第一材料形成上述第一导电层的表面部，由与第一材料不同的第二材料形成上述第二导电层的表面部，从而解决上述课题。