[发明专利]基板搬送方法和处理系统

权利要求书

1.一种基板搬送方法，其使用具有第一拾取器和第二拾取器的搬送机构在热处理室和不同于该热处理室的其他的室之间依次搬送基板，所述基板搬送方法的特征在于，包括：

第一步骤，将未处理的基板保持在所述第一拾取器上，搬送至所述热处理室；

第二步骤，将在所述热处理室中被热处理过的处理后基板保持在所述第二拾取器上，并将其从所述热处理室搬出，并且将所述第一拾取器所保持的未处理的基板搬入所述热处理室；

第三步骤，将保持在所述第二拾取器上的所述处理后基板搬送至所述其他的室；

第四步骤，将所述其他的室内的未处理的基板保持在所述第一拾取器上，在将所述第二拾取器所保持的处理后基板搬入到所述其他的室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为不保持基板的状态；和

第五步骤，在所述第四步骤后，将未处理的基板保持在所述第二拾取器上，在所述第一拾取器和所述第二拾取器之间切换保持未处理的基板和处理后基板的拾取器，

在所述第四步骤中，将所述第一拾取器所保持的未处理的基板暂时载置在缓冲机构，由此使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为不保持基板的状态。

2.如权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：

所述第四步骤在所述热处理室中执行基板的热处理期间进行。

3.如权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：

在所述热处理室中同时对多个基板进行热处理，

在所述第四步骤中，在将所述被同时热处理了的多个基板中所述第二拾取器最后保持的所述处理后基板搬入所述其他的室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为不保持基板的状态。

4.如权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于：

所述热处理室设置有多个，

所述第四步骤在多个所述热处理室中执行基板的热处理期间进行。

5.一种对基板实施热处理的处理系统，其特征在于：

对使用具有权利要求1所述的包括第一步骤～第五步骤的基板搬送方法，在热处理室与不同于该热处理室的其他的室之间依次搬送的基板实施热处理。