[发明专利]试样保持装置、太阳能电池的制造方法及太阳能电池模块的制造方法

权利要求书

1.一种试样保持装置，将具备半导体基板的太阳能电池的半成品设为需保持并抬起的试样，具有与所述试样相对的试样保持面，在所述试样保持面与试样之间流过气体从而产生负压，通过该负压将试样吸引到试样保持面侧，在与试样保持面接近的位置对试样进行保持，其特征在于，

具有阻止试样向试样保持面的面方向移动的定位部件，所述定位部件设于所述试样保持面的周部，所述定位部件具有在保持了试样的状态时或在试样偏移时与试样的一部分接触的接触部，其中，如下的部位带有圆弧或为倒角形状：

(1)接触部或与接触部平缓地连续的部位的距试样保持面远的一侧的端部；

(2)在接触部的背面侧具有外向部，该外向部的前端侧的端部；

(3)具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且相对于试样保持面在平行方向或者倾斜的方向上扩展的向下部、和同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述向下部、侧部和接触部或与接触部平缓地连续的部位构成的角部；

(4)在接触部的背面侧具有外向部，具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且相对于试样保持面在平行方向或者倾斜的方向上扩展的向下部、和同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述外向部、向下部和侧部构成的角部。

2.如权利要求1所述的试样保持装置，其特征在于，

定位部件为立体的形状，具有构成接触部的接触面。

3.如权利要求1或2所述的试样保持装置，其特征在于，

接触部为向试样保持面侧倾斜的倾斜面。

4.如权利要求1或2所述的试样保持装置，其特征在于，

接触部由动摩擦系数不到0.2的材料制成。

5.如权利要求1或2所述的试样保持装置，其特征在于，

作为需保持对象的试样的半导体基板为硅基板，其厚度为50μm～200μm。

6.如权利要求1或2所述的试样保持装置，其特征在于，

如下的部位带有圆弧或为倒角形状：

(5)具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述侧部、和接触部或与接触部平缓地连续的部位构成的角部；

(6)在接触部的背面侧具有外向部，具有同接触部交叉或同与接触部平缓地连续的部位交叉且在相对于试样保持面交叉的方向上扩展的侧部，且由所述外向部和侧部构成的角部。

7.一种太阳能电池的制造方法，该太阳能电池具有半导体基板，其特征在于，具有通过权利要求1～6中任一项所述的试样保持装置对作为太阳能电池的半成品的半成品太阳能电池基板进行保持的基板保持工序。

8.如权利要求7所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，在基板保持工序后，具有在该基板上形成透明导电膜的工序。

9.一种太阳能电池模块的制造方法，制造太阳能电池被密封材料密封的太阳能电池模块，其特征在于，所述太阳能电池通过权利要求7或8所述的太阳能电池的制造方法而制造。