[发明专利]蓝宝石板用研磨液组合物有效

专利信息
申请号: 201580051084.4 申请日: 2015-10-13
公开(公告)号: CN107075345B 公开(公告)日: 2019-03-12
发明(设计)人: 吉野太基 申请(专利权)人: 花王株式会社
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王永红
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 蓝宝石 研磨 组合
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石板用研磨液组合物,其含有二氧化硅粒子、选自亚磷酸钠、次磷酸钠及次磷酸铵中的1种以上的无机磷酸盐化合物、以及水系介质,且25℃时的pH为8以上,

所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述无机磷酸盐化合物的含量为1质量ppm以上且5000质量ppm以下,

所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述二氧化硅粒子的含量以SiO2换算浓度计为1质量%以上且40质量%以下。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中所述二氧化硅粒子即成分A与无机磷酸盐化合物即成分B的含量比、即[二氧化硅粒子的含量/无机磷酸盐化合物的含量]为2以上且10000以下,所述含量的单位为质量ppm。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述无机磷酸盐化合物的含量为10质量ppm以上且4000质量ppm以下。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述二氧化硅粒子的含量以SiO2换算浓度计为5质量%以上且30质量%以下。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的利用动态光散射法而测定的平均二次粒径为10nm以上且500nm以下。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的平均一次粒径为45nm以上且500nm以下。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的BET比表面积为10m2/g以上且200m2/g以下。

8.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子包含选自金平糖型二氧化硅粒子A1、异形型二氧化硅粒子A2及异形且金平糖型二氧化硅粒子A3中的至少1种二氧化硅粒子。

9.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子中的金平糖型二氧化硅粒子A1、异形型二氧化硅粒子A2及异形且金平糖型二氧化硅粒子A3的合计所占的比率以质量比计为50质量%以上。

10.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子包含金平糖型二氧化硅粒子A1与异形型二氧化硅粒子A2两者,质量比率、即金平糖型二氧化硅粒子A1/异形型二氧化硅粒子A2为5/95~95/5。

11.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的平均绝对最大长度为80nm以上且500nm以下。

12.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,在全部二氧化硅粒子中含有30质量%以上的构成所述二氧化硅粒子的各二氧化硅粒子的面积比b/a×100为110%~200%的二氧化硅粒子,

所述面积比b/a×100,是指将以二氧化硅粒子的绝对最大长度为直径的圆的面积b除以由电子显微镜观察所获得的该二氧化硅粒子的投影面积a后乘以100所得的值,其单位为%。

13.根据权利要求12所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述面积比b/a×100的平均值为110%以上且200%以下。

14.一种蓝宝石板的制造方法,其包括:

对被研磨蓝宝石板供给权利要求1至13中任一项所述的蓝宝石板用研磨液组合物,对所述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于花王株式会社,未经花王株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580051084.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top