[发明专利]蓝宝石板用研磨液组合物有效
申请号: | 201580051084.4 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN107075345B | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 吉野太基 | 申请(专利权)人: | 花王株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王永红 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 研磨 组合 | ||
1.一种蓝宝石板用研磨液组合物,其含有二氧化硅粒子、选自亚磷酸钠、次磷酸钠及次磷酸铵中的1种以上的无机磷酸盐化合物、以及水系介质,且25℃时的pH为8以上,
所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述无机磷酸盐化合物的含量为1质量ppm以上且5000质量ppm以下,
所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述二氧化硅粒子的含量以SiO2换算浓度计为1质量%以上且40质量%以下。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中所述二氧化硅粒子即成分A与无机磷酸盐化合物即成分B的含量比、即[二氧化硅粒子的含量/无机磷酸盐化合物的含量]为2以上且10000以下,所述含量的单位为质量ppm。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述无机磷酸盐化合物的含量为10质量ppm以上且4000质量ppm以下。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述二氧化硅粒子的含量以SiO2换算浓度计为5质量%以上且30质量%以下。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的利用动态光散射法而测定的平均二次粒径为10nm以上且500nm以下。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的平均一次粒径为45nm以上且500nm以下。
7.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的BET比表面积为10m2/g以上且200m2/g以下。
8.根据权利要求1所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子包含选自金平糖型二氧化硅粒子A1、异形型二氧化硅粒子A2及异形且金平糖型二氧化硅粒子A3中的至少1种二氧化硅粒子。
9.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子中的金平糖型二氧化硅粒子A1、异形型二氧化硅粒子A2及异形且金平糖型二氧化硅粒子A3的合计所占的比率以质量比计为50质量%以上。
10.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子包含金平糖型二氧化硅粒子A1与异形型二氧化硅粒子A2两者,质量比率、即金平糖型二氧化硅粒子A1/异形型二氧化硅粒子A2为5/95~95/5。
11.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述二氧化硅粒子的平均绝对最大长度为80nm以上且500nm以下。
12.根据权利要求8所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,在全部二氧化硅粒子中含有30质量%以上的构成所述二氧化硅粒子的各二氧化硅粒子的面积比b/a×100为110%~200%的二氧化硅粒子,
所述面积比b/a×100,是指将以二氧化硅粒子的绝对最大长度为直径的圆的面积b除以由电子显微镜观察所获得的该二氧化硅粒子的投影面积a后乘以100所得的值,其单位为%。
13.根据权利要求12所述的蓝宝石板用研磨液组合物,其中,所述面积比b/a×100的平均值为110%以上且200%以下。
14.一种蓝宝石板的制造方法,其包括:
对被研磨蓝宝石板供给权利要求1至13中任一项所述的蓝宝石板用研磨液组合物,对所述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。
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