[发明专利]蓝宝石板用研磨液组合物

说明书

本发明的蓝宝石板用研磨液组合物含有二氧化硅粒子、选自正磷酸盐、亚磷酸盐及次磷酸盐中的1种以上的无机磷酸盐化合物以及水系介质，且25℃时的pH为8以上。上述无机磷酸盐化合物优选为选自正磷酸盐、亚磷酸盐及次磷酸盐中的1种以上的无机磷酸盐化合物。本发明的蓝宝石板的制造方法的一例包括：对被研磨蓝宝石板供给上述蓝宝石板用研磨液组合物，对上述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。本发明的被研磨蓝宝石板的研磨方法的一例包括：对被研磨蓝宝石板供给上述蓝宝石板用研磨液组合物，对上述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。

技术领域

本发明涉及一种蓝宝石板用研磨液组合物、及使用其的蓝宝石板的制造方法以及被研磨蓝宝石板的研磨方法。

现有技术

蓝宝石等硬脆材料作为光学材料、电子材料或机械材料不可或缺。

例如，人工蓝宝石板被用作集成电路基盘、红外线探测用透镜、时钟、智能型手机等移动终端装置等各种用途的材料。尤其随着LED的急速普及，用作其基板的蓝宝石板的需求急速增加。关于LED用蓝宝石板，为了提高LED元件的发光效率而期待其表面平滑性较高。

为了满足蓝宝石板的表面平滑性，进行使用包含二氧化硅粒子的研磨液组合物的精研磨。通过使用硬度低于蓝宝石(α-氧化铝、莫氏硬度9)板的二氧化硅(莫氏硬度7)粒子作为研磨粒，不会于蓝宝石板表面上产生凹坑或刮痕。然而，蓝宝石虽然机械、化学、热稳定性优异，但存在使用有二氧化硅粒子的精研磨中研磨速度较低的问题。

针对研磨速度的问题，例如在专利文献1中公开有包含氯化钠或氯化钾等具有碱性pH且经溶解的氯化物的蓝宝石板用的研磨液组合物。于专利文献6中公开有以同时实现高速研磨与表面粗糙度降低为目的、包含特定的无机硼化合物的蓝宝石板用研磨液组合物。在专利文献2、3中公开有以提高研磨速度为目的、使用氧化铝粒子作为研磨粒且包含磷化合物等添加剂的研磨液组合物。在专利文献4中公开有pH为酸性区域且可通过包含磷酸或膦酸系化合物而提高研磨速度的研磨液组合物。在专利文献5中公开有研磨对象为SiC基板、pH为8.5-12、包含氧化剂作为必需成分且包含无机盐作为任意成分的研磨液组合物，但并未记载SiC基板以外的研磨对象。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特表2008-531319号公报

专利文献2：日本特表2006-524583号公报

专利文献3：日本特开2011-62815号公报

专利文献4：日本特表2009-538236号公报

专利文献5：WO2012/036087号公报

专利文献6：日本特开2012-206183号公报

发明内容

发明所要解决的问题

另一方面，期待以提高生产性为目的而进一步提高蓝宝石板的研磨速度的同时、还确保良好的表面平滑性。

本发明提供一种可同时实现高速研磨与低表面粗糙度的蓝宝石板用研磨液组合物、使用其的蓝宝石板的制造方法以及被研磨蓝宝石板的研磨方法。

解决问题的技术手段

本发明的蓝宝石板用研磨液组合物含有二氧化硅粒子、选自正磷酸盐、亚磷酸盐及次磷酸盐中的1种以上的无机磷酸盐化合物、以及水系介质，且25℃时的pH为8以上。

本发明的蓝宝石板的制造方法的一例包括：对被研磨蓝宝石板供给本发明的蓝宝石板用研磨液组合物，对上述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。