[发明专利]碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途有效
申请号: | 201580051227.1 | 申请日: | 2015-09-24 |
公开(公告)号: | CN106715598B | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 九泽昌祥;深津优太;饭田启雄 | 申请(专利权)人: | 耐涂可株式会社 |
主分类号: | C08L101/10 | 分类号: | C08L101/10;C08K5/05;G03F7/075 |
代理公司: | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人: | 余文娟 |
地址: | 日本国爱知县*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碱溶性 树脂 感光性 组合 及其 用途 | ||
1.一种感光性树脂组合物,通过活性能量射线的照射而光聚合固化,所述感光性树脂组合物含有碱溶性树脂、交联剂以及感光剂,所述碱溶性树脂通过在溶剂中溶解共聚物而形成,所述共聚物含有含羧基聚合单元和含烷氧基甲硅烷基聚合单元,所述感光性树脂组合物的特征在于,
所述溶剂包含具有碳原子数为4或5个的直链烷基或支链烷基的醇。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,
所述含羧基聚合单元为从选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的第1共聚性单体衍生的聚合单元,所述含烷氧基甲硅烷基聚合单元为从下述化学式(1)所示的第2共聚性单体衍生的聚合单元,所述共聚物还含有从与所述第1共聚性单体以及第2共聚性单体不同的第3共聚性单体衍生的聚合单元,
X-(CH2)a-Si(OR)b(CH3)3-b…(1)
其中,化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基,R为甲基或乙基,a为0~3的整数,b为1~3的整数。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,
所述共聚物含有从含羟基不饱和单体衍生的含羟基的聚合单元。
4.根据权利要求1~3的任何一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,
所述醇是具有碳原子数为4或5个的烷基的伯醇或仲醇。
5.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,
所述醇是具有碳原子数为4或5个的烷基的伯醇。
6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其特征在于,
所述伯醇是1-丁醇。
7.一种固化物,通过活性能量射线将权利要求1~6所述的感光性树脂组合物固化而形成。
8.一种层间绝缘膜,由权利要求7所述的固化物形成,将配置在层间的布线与布线之间电气绝缘。
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