[发明专利]碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途有效

专利信息
申请号: 201580051227.1 申请日: 2015-09-24
公开(公告)号: CN106715598B 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 九泽昌祥;深津优太;饭田启雄 申请(专利权)人: 耐涂可株式会社
主分类号: C08L101/10 分类号: C08L101/10;C08K5/05;G03F7/075
代理公司: 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 代理人: 余文娟
地址: 日本国爱知县*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 碱溶性 树脂 感光性 组合 及其 用途
【权利要求书】:

1.一种感光性树脂组合物,通过活性能量射线的照射而光聚合固化,所述感光性树脂组合物含有碱溶性树脂、交联剂以及感光剂,所述碱溶性树脂通过在溶剂中溶解共聚物而形成,所述共聚物含有含羧基聚合单元和含烷氧基甲硅烷基聚合单元,所述感光性树脂组合物的特征在于,

所述溶剂包含具有碳原子数为4或5个的直链烷基或支链烷基的醇。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,

所述含羧基聚合单元为从选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的第1共聚性单体衍生的聚合单元,所述含烷氧基甲硅烷基聚合单元为从下述化学式(1)所示的第2共聚性单体衍生的聚合单元,所述共聚物还含有从与所述第1共聚性单体以及第2共聚性单体不同的第3共聚性单体衍生的聚合单元,

X-(CH2)a-Si(OR)b(CH3)3-b…(1)

其中,化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基,R为甲基或乙基,a为0~3的整数,b为1~3的整数。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,

所述共聚物含有从含羟基不饱和单体衍生的含羟基的聚合单元。

4.根据权利要求1~3的任何一项所述的感光性树脂组合物,其特征在于,

所述醇是具有碳原子数为4或5个的烷基的伯醇或仲醇。

5.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,

所述醇是具有碳原子数为4或5个的烷基的伯醇。

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其特征在于,

所述伯醇是1-丁醇。

7.一种固化物,通过活性能量射线将权利要求1~6所述的感光性树脂组合物固化而形成。

8.一种层间绝缘膜,由权利要求7所述的固化物形成,将配置在层间的布线与布线之间电气绝缘。

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