[发明专利]碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途

说明书

一种碱溶性树脂，通过在溶剂中溶解共聚物而形成，该共聚物含有由不饱和羧酸等衍生的含羧基聚合单元和由下述式(1)表示的单体衍生的含烷氧基甲硅烷基聚合单元。溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的特定的醇。作为特定的醇，优选烷基碳原子数为4个的伯醇，特别优选为1‑丁醇。下述化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基，R为甲基或乙基，a为0～3的整数，b为1～3的整数，X－(CH₂)_a－Si(OR)_b(CH₃)_3‑b…(1)。

技术领域

本发明涉及碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途，其电气绝缘性、耐热性、耐水性、耐化学性、机械强度等特性非常优秀，适合作为半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜等材料利用。

背景技术

近年来，在电子材料领域的电脑、智能手机、平板电脑等的电路元件中，随着高精细化快速发展，为了维持像素的开口率，而推行布线的细线化。随此，保护布线的电气绝缘膜也更加要求细线化。例如，在TFT液晶显示元件、有机EL显示元件、集成电路显示元件等中，为了将在层间配置的布线和布线之间电气绝缘而形成层间绝缘膜。

作为这种层间绝缘膜的材料使用的感光性树脂组合物已在专利文献1中有所公开。该感光性树脂组合物具有碱溶性，含有：不饱和羧酸、使含环氧基的不饱和化合物及硅烷单体共聚所得的丙烯酸类共聚物、1,2-醌二叠氮化合物、以及溶剂。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2006-209112号公报

在上述专利文件1中记载的现有的感光性树脂组合物的情况下，在硅烷单体中含有加水分解性的甲硅烷基(silyl group)，该甲硅烷基包含甲氧基或乙氧基，随着时间推移，该甲硅烷基进行加水分解，从而产生交联反应，丙烯酸系共聚物的分子量增大。如果使用含有像这样分子量增大了的丙烯酸系共聚物的感光性树脂，则感光时的显影性会变得非常差，会有难以形成适合图案的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够抑制加水分解性甲硅烷基的交联反应而得到经时稳定性的碱溶性树脂、感光性树脂组合物、固化物及层间绝缘膜。

为了实现上述目的，本发明的碱溶性树脂，通过在溶剂中溶解共聚物而形成，所述共聚物含有含羧基聚合单元和含烷氧基甲硅烷基聚合单元，其特征在于，所述溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的醇。

在上述的碱溶性树脂中，所述含羧基聚合单元优选为从选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的第1共聚性单体衍生的聚合单元，所述含烷氧基甲硅烷基聚合单元优选为从下述化学式(1)所示的第2共聚性单体衍生的聚合单元，所述共聚物优选还含有从与所述第1共聚性单体以及第2共聚性单体不同的第3共聚性单体衍生的聚合单元。

X－(CH₂)_a－Si(OR)_b(CH₃)_3-b…(1)

其中，化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基，R为甲基或乙基，a为0～3的整数，b为1～3的整数。

在上述的碱溶性树脂中，优选所述聚合单元含有从含羟基不饱和单体衍生的含羟基的聚合单元。

在上述的碱溶性树脂中，优选所述醇是烷基碳原子数为4或5个的伯醇或仲醇。

在上述的碱溶性树脂中，优选所述醇是烷基碳原子数为4或5个的伯醇。

在上述的碱溶性树脂中，优选所述烷基碳原子数为4个的伯醇是1-丁醇。

本发明的感光性树脂组合物，含有上述的碱溶性树脂、交联剂与感光剂。