[发明专利]引线框制造用曝光装置在审
申请号: | 201580051377.2 | 申请日: | 2015-11-10 |
公开(公告)号: | CN106796403A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 李海泆 | 申请(专利权)人: | 普瑞科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L23/495 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人: | 姜虎,陈英俊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 引线 制造 曝光 装置 | ||
1.一种引线框制造用曝光装置,包括:主体(10),其设置于两面涂覆有感光膜的铜板(1)的移送路径的中间部;第一及第二掩模(21、22),其以接近所述铜板(1)两面的方式设置于所述主体(10);照明单元(30),其通过所述第一及第二掩模(21、22)向所述铜板(1)的两面照射光线,以使涂覆于所述铜板(1)的感光膜感光,
其特征在于,
所述第一及第二掩模(21、22)设置成沿上下方向延伸,
所述铜板(1)被配置成,其中间部经过设置于所述主体(10)的导向辊(41、42、43、44)外周面,并穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部。
2.根据权利要求1所述的引线框制造用曝光装置,其特征在于,
还包括掩模支撑单元(50),其设置于所述主体(10)上,用于支撑所述第一及第二掩模(21、22);
所述掩模支撑单元(50)包括:
支撑框架(51),其设置于所述主体(10)上,用于固定所述第一掩模(21);
间隔调节单元(52),其设置于所述支撑框架(51),并连接于所述第二掩模(22),用于调节所述第二掩模(22)和第一掩模(21)的间隔;
间隔调节辊(53),其位于沿上下方向延伸的铜板(1)的前方或后方,借助于致动器(53a)而前进后退,以调节所述铜板(1)的中间部和第一掩模(21)的间隔。
3.根据权利要求2所述的引线框制造用曝光装置,其特征在于,
还包括移送单元(60),其设置于所述主体(10)上,对穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部的铜板(1)进行牵拉,并向后方移送;
所述移送单元(60)包括:
导轨(61),其与所述铜板(1)的延伸方向平行地配置于穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部的铜板(1)的路径上;
夹持器(62),其以能够沿前后方向滑动的方式结合于所述导轨(61),并选择性地结合于穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部的铜板(1);
前进后退驱动单元(63),其连接于所述夹持器(62),使所述夹持器(62)沿导轨(61)前进后退。
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