[发明专利]引线框制造用曝光装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够防止因以玻璃材质构成的第一及第二掩模下垂而发生误差的新结构的引线框制造用曝光装置。

背景技术

一般而言，用于制作半导体封装件的引线框经过如下步骤制作：在成为引线框材料的铜板两面附着或涂敷感光膜的涂敷步骤；利用曝光装置在所述感光膜上使既定的图案感光的感光步骤；对两面感光的铜板进行蚀刻的蚀刻步骤等。

发明内容

要解决的技术问题

本发明旨在解决所述问题，其目的在于提供一种能够防止因以玻璃材质构成的第一及第二掩模下垂而发生误差的新结构的引线框制造用曝光装置。

解决问题的手段

为了达成所述目的，本发明提供一种引线框制造用曝光装置，包括：主体10，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板1的移送路径的中间部；第一及第二掩模21、22，其以接近所述铜板1两面的方式设置于所述主体10；照明单元30，其通过所述第一及第二掩模21、22向所述铜板1的两面照射光线，以使所述铜板1涂敷的感光膜感光，其特征在于，所述第一及第二掩模21、22设置成沿上下方向延伸，所述铜板1的中间部经过所述主体10具备的导向辊41、42、43、44外周面并穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部。

根据本发明的另一特征，提供一种引线框制造用曝光装置，其特征在于，还包括掩模支撑单元50，其设置于所述主体10上，用于支撑所述第一及第二掩模21、22；所述掩模支撑单元50包括：支撑框架51，其设置于所述主体10上，用于固定所述第一掩模21；间隔调节单元52，其设置于所述支撑框架51，并连接于所述第二掩模22，用于调节所述第二掩模22和第一掩模21的间隔；间隔调节辊53，其位于沿上下方向延伸的铜板1的前方或后方，借助于致动器53a而前进后退，以调节所述铜板1的中间部和第一掩模21的间隔。

根据本发明的又一特征，提供一种引线框制造用曝光装置，其特征在于，还包括移送单元60，其设置于所述主体10上，对穿过所述第一及第二掩模21、22之间空间部的铜板1进行牵拉，并向后方移送；所述移送单元60包括：导轨61，其与所述铜板1的延伸方向平行地配置于穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部的铜板1的路径上；夹持器62，其以能沿前后方向滑动的方式结合于所述导轨61，并选择性地结合于穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部的铜板1；前进后退驱动单元63，其连接于所述夹持器62，使得所述夹持器62沿导轨61前进后退。

发明的效果

就本发明的引线框制造用曝光装置而言，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸设置，所述铜板1的中间部经过配置于所述主体10的导向辊41、42、43、44的外周面并通过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部。

因此，能够防止由玻璃面板构成的第一及第二掩模21、22因自重而向下侧下垂，当利用所述照明单元30照射光线而使铜板1的两侧面涂敷的感光膜感光时发生误差，最终生产的引线框因而发生不良的现象。

附图说明

图1是图示本发明的引线框制造用曝光装置的侧面构成图，

图2是图示本发明的引线框制造用曝光装置的平面构成图，

图3是图示本发明的引线框制造用曝光装置的主要部分的侧面构成图，

图4及图5是图示本发明的引线框制造用曝光装置的掩模支撑单元的侧面构成图，

图6是用于说明本发明的引线框制造用曝光装置的作用的参考图。

最佳实施方式

下面根据附带的示例图，详细说明本发明。

图1至图6图示了本发明的引线框制造用曝光装置，与以往相同的是具备：主体10，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板1的中间部；第一及第二掩模21、22，其接近所述铜板1中间部两面地设置于所述主体10；照明单元30，其通过所述第一及第二掩模21、22向所述铜板1的两面照射光线，使得所述铜板1涂敷的感光膜感光。

此时，如图1及图2所示，在所述主体10的前后方具备卷取两面涂覆有感光膜的铜板1的开卷机2、卷取从所述开卷机2解开的铜板1的收卷机3，使在所述开卷机2开卷的铜板1穿过所述主体10后卷取于所述收卷机3。

而且，根据本发明，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸设置，所述铜板1配置成，其中间部经过所述主体10设置的导向辊41、42、43、44的外周面并穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部。