[发明专利]铜膜形成用组合物和使用其的铜膜的制造方法

权利要求书

1.一种铜膜形成用组合物，其含有：

甲酸铜或其水合物0.1～3.0摩尔/kg；

选自由下述通式(1)所示的化合物和下述通式(1’)所示的化合物组成的组中的至少1种化合物；和，

下述通式(2)所示的哌啶化合物，

将所述甲酸铜或其水合物的含量设为1摩尔/kg时，以0.001～6.0摩尔/kg的范围含有选自由下述通式(1)所示的化合物和下述通式(1’)所示的化合物组成的组中的至少1种化合物，以0.1～6.0摩尔/kg的范围含有所述哌啶化合物，

所述通式(1)中，R¹和R²分别独立地表示氢原子、甲基或乙基，

所述通式(1’)中，R³表示甲基或乙基，m表示0或1，

所述通式(2)中，X表示氨基或羟基。

2.根据权利要求1所述的铜膜形成用组合物，其中，所述通式(1)所示的化合物为2-氨基-2-甲基-1,3-丙二醇。

3.根据权利要求1或2所述的铜膜形成用组合物，其中，所述通式(1’)所示的化合物为2-甲基哌啶。

4.根据权利要求1或2所述的铜膜形成用组合物，其中，所述哌啶化合物为4-氨基-2,2,6,6-四甲基哌啶。

5.根据权利要求3所述的铜膜形成用组合物，其中，所述哌啶化合物为4-氨基-2,2,6,6-四甲基哌啶。

6.一种铜膜的制造方法，其具备如下工序：

将权利要求1～5中任一项所述的铜膜形成用组合物涂布于基体上的工序；和，

将涂布有所述铜膜形成用组合物的所述基体以200℃以下进行加热形成铜膜的工序。