[发明专利]X射线装置有效
申请号: | 201580054885.6 | 申请日: | 2015-08-12 |
公开(公告)号: | CN107110797B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | B·普里斯;M·比奇;J·史密斯 | 申请(专利权)人: | 尼康计量公众有限公司 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李隆涛 |
地址: | 比利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 装置 | ||
1.一种用于X射线装置的支承装置,所述支承装置包括:
基部部分;
支承部分,其用于支承X射线系统的构件;
承载件,其具有设置到基部部分的第一承载元件和设置到样品支承部分的第二承载元件,以用于允许在第一承载元件与第二承载元件接触的情况下样品支承部分相对于基部部分从第一位置移位到第二位置;
升降器,其设置到基部部分且设置成将样品支承部分从第二位置移位到第三位置,由此将第一承载元件和第二承载元件相对分开。
2.根据权利要求1所述的支承装置,其中所述承载件是滑动承载件,且第一承载元件和第二承载元件是平行且互相靠近地设置的平坦承载表面。
3.根据权利要求1所述的支承装置,其中所述承载件是辊承载件,第一承载元件是辊和承载表面之一,辊设置成抵靠承载表面滚动,且第二承载元件是辊和承载表面中的另一个。
4.根据权利要求1至3中任一所述的支承装置,其中减振元件设置成当样品支承部分处于第三位置时抑制在支承部分和基部部分之间的振动传输。
5.根据权利要求4所述的支承装置,其中所述减振元件设置在升降器和支承部分之间。
6.根据权利要求4所述的支承装置,其中所述减振元件设置在升降器和基部部分之间。
7.根据权利要求4所述的支承装置,其中所述减振元件设置为所述升降器。
8.根据权利要求4所述的支承装置,其中所述减振元件包括气动活塞。
9.根据权利要求1至3中任一所述的支承装置,其中防护件设置到第一承载元件,以防止当样品支承部分不处于第二位置时第一承载元件和第二承载元件分开。
10.根据权利要求1至3中任一所述的支承装置,其中所述第一位置是比第二位置相对更接近罩壳的进出孔口的位置,且第三位置是用于X射线照射的位置。
11.一种具有X射线源、操纵器载物台和X射线检测器的X射线装置,所述X射线装置具有设置成包封X射线源、操纵器载物台和X射线检测器之一的根据权利要求1至10中任一所述的支承装置。
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