[发明专利]X射线装置有效
申请号: | 201580054885.6 | 申请日: | 2015-08-12 |
公开(公告)号: | CN107110797B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | B·普里斯;M·比奇;J·史密斯 | 申请(专利权)人: | 尼康计量公众有限公司 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李隆涛 |
地址: | 比利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 装置 | ||
公开了一种用于X射线装置的设备安装件。所述安装件包括主屏蔽元件、周边屏蔽元件和次级屏蔽元件,它们设置成允许安装元件以屏蔽方式穿过主屏蔽元件。也公开了一种用于X射线装置的支承装置。支承装置包括用于在第一位置和第二位置之间移位支承部分的可分开承载件和用于将支承部分从第二位置移位到第三位置的升降器机构,由此将承载件分开。也公开了一种用于X射线装置的操纵器载物台。所述载物台包括第一支承结构,其设置成支承样品载物台且由第二和第三支承结构支承在样品载物台任一侧上的第一和第二位置处,第二和第三支承结构配置成允许第一支承结构抬升和下降同时维持在两端处被支承。
技术领域
本申请涉及X射线装置,且也涉及在这种X射线装置中使用的设备安装件、支承结构以及操纵器载物台。
背景技术
X射线成像系统、尤其在工业或科学应用中使用的X射线成像系统通常使用闭合构型,在所述闭合构型中,X射线源和X射线检测器设置在X射线屏蔽罩壳中,所述屏蔽罩壳具有通常称为窗口的适当孔口,以用于在调研中引入和移除样品。这种构型允许操作者便利地操作机器且在相对安全的条件下对成像系统和样品位置做出必要的调整。
近期,高能X射线系统已经实现越来越重且大的样品的成像。尤其地,已经提出一种CT成像以用于成像如发动机缸体一样大的结构,例如以确定和分析缺陷的存在,所述CT成像能够从关于由调研中的样品限定的轴线以各种角度截取的一系列X射线投影重新构造物体的体积密度图。
然而,对于这种应用,调研中的样品的尺寸和重量的增加将要求罩壳显著扩大,不仅要容纳较大的样品,而且要允许承载样品重量的各种构件的尺寸增加,以避免非期望的变形或破损。
按比例加大装置以应对这种重或大的负载将引起这种装置的占用空间的增加且也增加成本。
因此,需要一种能够以紧凑形式容纳相对大的样品的X射线装置。
发明内容
根据本发明的第一方面,提供一种用于X射线装置的设备安装件,所述安装件包括:主屏蔽元件,其具有从屏蔽元件的一侧至屏蔽元件的另一侧地穿过屏蔽元件的至少一个孔口;安装元件,其设置成延伸穿过主屏蔽元件的孔口,且具有在孔口的所述一侧上的设备支承表面以及具有在孔口的另一侧上的基部表面;周边屏蔽元件,其从主屏蔽元件的围绕孔口的区域延伸以至少部分地围绕安装元件的至少一部分;以及次级屏蔽元件,其设置在安装元件的基部表面和设备支承表面之一处,且朝向主屏蔽元件延伸以至少部分地围绕周边屏蔽元件的至少一部分的外周边。
在一个构型中,孔口限定与其垂直的轴线,且主屏蔽元件、周边屏蔽元件以及次级屏蔽元件一起配置且设置成使得关于轴线从至少一个方向以大于45度、优选大于30度、更优选大于15度、最优选大于5度的角度入射的X射线辐射将对板屏蔽元件、次级屏蔽元件和周边屏蔽元件中的至少一个冲击,以及优选来自所述至少一个方向的45度内的所有方向、更优选来自所述至少一个方向的180度内的所有方向、最优选来自所述至少一个方向的360度内的所有方向的X射线辐射将对板屏蔽元件、次级屏蔽元件和周边屏蔽元件中的至少一个冲击。
在一个构型中,主屏蔽元件是板。
在一个构型中,周边屏蔽元件基本是中空筒体或中空锥体的一部分,优选基本是整个中空筒体或锥体。
在一个构型中,次级屏蔽元件包括次级屏蔽板和从次级屏蔽板朝向主屏蔽元件延伸的周边次级屏蔽壁。
在一个构型中,周边次级屏蔽壁基本是中空筒体或中空锥体的一部分,优选基本是整个中空筒体或锥体。
在一个构型中,安装元件包括在设备支承表面和基部表面之间延伸的杆部分。
在一个构型中,主屏蔽元件,周边屏蔽元件和次级屏蔽元件设置在孔口的一侧或孔口的另一侧之一上,且另外的主屏蔽元件、另外的周边屏蔽元件和另外的次级屏蔽元件设置在孔口的所述一侧或孔口的所述另一侧中的另一个上。
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