[发明专利]用于分集化及缺陷发现的动态分格

权利要求书

1.一种用于产生晶片的缺陷样本的计算机实施的方法，其包括：

获取所述晶片的检验结果，其中所述检验结果包括通过检验过程而在所述晶片上检测的缺陷的信息，且其中所述信息至少包括所述缺陷的一或多个第一属性的第一集合及所述缺陷的一或多个第二属性的第二集合的信息；

识别所述一或多个第一属性的在所述一或多个第一属性的值中具有最大分集的值；

基于所识别值而产生用于所述缺陷的分格的集合，使得所述分格中的每一者对应于所述所识别值的仅一部分且使得对应于所述分格的值在所述一或多个第一属性上具有分集，其中产生所述分格的集合不包括对所述缺陷取样，其中所述分格的集合在所述一或多个第一属性上的分集化由所述集合中分格的数目控制，且其中所述集合中分格的所述数目在产生步骤之前从用户接收；

基于对应于所述缺陷的所述一或多个第一属性的值而将所述缺陷分离到所述分格中，其中直到所述分格的集合产生后才执行将所述缺陷分离到所述分格中；

基于所述一或多个第二属性的值的分集而从所述分格中的一者选择所述分格中的所述一者内的缺陷；

针对所述分格中的至少一者重复所述选择；及

针对所述晶片创建包括选自所述分格中的所述一者及所述分格中的所述至少另一者的所述缺陷的缺陷样本，其中由计算机系统执行所述获取、所述识别、所述产生、所述分离、所述选择、所述重复及所述创建。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个第一属性包括所述晶片上的所述缺陷的一或多个背景属性。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个第二属性包括在所述检验过程中针对所述缺陷检测的信号的一或多个特性。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述晶片具有未知缺陷率。

5.根据权利要求1所述的方法，其中由用户选择所述一或多个第一属性。

6.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：基于分离到所述分格中的所述缺陷而确定所述分格的一或多个特性；在所述选择之前将所述一或多个特性显示给用户；及向所述用户请求对所述一或多个特性的验证。

7.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：确定选自所述分格的所述缺陷的一或多个特性；在所述创建之前将所述一或多个特性显示给用户；及向所述用户请求对所述一或多个特性的验证。

8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：基于分离到所述分格中的所述缺陷而确定所述分格的第一特性；确定选自所述分格的所述缺陷的第二特性，其中所述第一特性与所述第二特性不同；在所述创建之前将所述第一特性及所述第二特性显示给用户；及向所述用户请求对所述第一特性及所述第二特性的验证。

9.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述分集而执行所述选择，使得选自所述分格中的所述一者的所述缺陷在所述一或多个第二属性的值上具有最大分集。

10.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述分集及一或多个样本偏向参数而执行所述选择。

11.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：基于所述缺陷的一或多个第三属性的值的分集而从所述分格中的所述一者单独选择所述分格中的所述一者内的缺陷，所述方法进一步包括：针对所述分格中的所述至少另一者重复所述单独选择，且其中创建所述缺陷样本包括将从所述分格中的所述一者及所述分格中的所述至少另一者单独选择的所述缺陷新增到所述缺陷样本。

12.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：基于所述一或多个第二属性的值而产生从中选择所述缺陷的分格的子分格的集合，使得所述子分格中的每一者对应于所述一或多个第二属性的值的仅一部分且使得对应于所述子分格的所述一或多个第二属性的值在所述一或多个第二属性上具有分集。