[发明专利]电致发光装置及制造方法

说明书

在具有TFT基板(基板)(2)和设置在TFT基板(2)上的有机EL元件(电致发光元件)(4)的有机EL显示装置(1)中，具有密封有机EL元件(4)的密封膜(14)。该密封膜(14)由有机层(14b)和无机层(14a、14c)的层叠结构构成，有机层(14b)的周缘部(14b2)的含碳率比该有机层(14b)的中央部(14b1)的含碳率低。

技术领域

本发明涉及具有EL(电致发光)元件的电致发光装置及其制造方法。

背景技术

近年来，在各种商品和领域中使用平板显示器，要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低耗电化。

在这样的状况下，具有利用有机材料的电场发光(Electro Luminescence：电致发光)的有机EL(电致发光)元件的有机EL显示装置作为全固体型且在可低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。

例如在有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT(薄膜晶体管)的基板上设置有薄膜状的有机EL元件。有机EL元件中，在一对电极之间层叠有包含发光层的有机EL层。TFT与一对电极中的一个电极连接。而且，通过向一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。

另外，公知的是，在上述这种现有的有机EL显示装置中，为了防止水分或氧引起的有机EL元件的劣化，对该有机EL元件设置密封膜。

另外，提出了在上述这种现有的有机EL显示装置中，例如如下述专利文献1中记载的那样，在有机EL元件上设置将树脂密封膜(有机层)和无机钝化密封膜(无机层)交替层叠而成的密封膜。而且，在该现有的有机EL显示装置中，能够利用密封膜防止水分或氧引起的有机EL元件的劣化。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2000-223264号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在上述的现有的有机EL显示装置中，以有机层的端面露出到外部的方式设置。因此，在该现有的有机EL显示装置中，有时水分从有机层的端面渗入，不能防止渗入的水分引起的有机EL元件的劣化，存在产生可靠性下降这种问题的情况。

另外，可以考虑以有机层的端面不露出到外部的方式例如由无机层覆盖该有机层的端面。然而，在该情况下，需要使用不同的掩模来制造这些有机层和无机层。其结果是，要求进行掩模的替换，不能连续地形成有机层和无机层，产生如下新的问题：在这些有机层与无机层的界面产生间隙，制造节拍降低，还使实现有机EL显示装置的窄边框化变得困难。

鉴于上述的技术问题，本发明的目的在于，提供一种即使在密封膜的有机层的端面露出到外部的情况下，也能够提高该密封膜的密封性的可靠性优异的电致发光装置及其制造方法。

解决技术问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明的电致发光装置是具有基板和设置在所述基板上的电致发光元件的电致发光装置，该电致发光装置的特征在于：

具有密封所述电致发光元件的密封膜，

所述密封膜由有机层和无机层的层叠结构构成，并且，

所述密封膜中，所述有机层的至少周缘部的含碳率比该有机层的中央部的含碳率低。

在如上述那样构成的电致发光装置中，密封膜密封电致发光元件，并且该密封膜由有机层和无机层的层叠结构构成。另外，在密封膜中，有机层的至少周缘部的含碳率比该有机层的中央部的含碳率低。由此，与上述现有例不同，即使密封膜的有机层的端面露出到外部的情况下，也能够抑制水分向该有机层渗入。其结果是能够提高密封膜的密封性，能够构成可靠性优异的电致发光装置。

另外，在上述电致发光装置中，优选所述密封膜中，所述有机层的端面露出到外部。