[发明专利]流量检定单元

权利要求书

1.一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元而逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，

所述流量检定单元的特征在于，

具有第一连接部和第二连接部，其中，所述第一连接部被设置于所述压力计的上游侧，并以拆装自如的方式而与被设置于所述气体集成单元且和所述多个气体供给管线连接的共同管线连接，所述第二连接部以拆装自如的方式而与被设置于所述气体集成单元的检定气体管线连接；

直列地连接有对经由所述第二连接部而从所述检定气体管线输入的检定气体进行控制的检定气体输入阀、对所述检定气体的流量进行测量的检定侧质量流量控制器、以及以使所述检定侧质量流量控制器所测定出的检定气体流量测定值与设定流量一致的方式而进行控制的检定侧流量控制阀；

所述检定气体输入阀、所述检定侧质量流量控制器以及所述检定侧流量控制阀相对于所述关闭阀而并列地设置。

2.如权利要求1所述的流量检定单元，其特征在于，

具有校正装置，所述校正装置使所述检定气体流至所述检定侧质量流量控制器而对所述检定侧质量流量控制器进行校正。

3.如权利要求1或2所述的流量检定单元，其特征在于，所述压力计包括测定范围不同的第1压力计和第2压力计。