[发明专利]流量检定单元

说明书

本发明提供一种流量检定单元，其利用在使第2关闭阀处于闭阀的状态下由压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由温度计测定出的温度测定值，而计算出流量控制阀与第2关闭阀之间的容积，并且在对质量流量控制器的流量逐个进行检定的流量检定单元中，在压力计的上游侧设置有以拆装自如的方式而与气体集成单元连接的第1检定侧连接部2，且使直列连接的检定气体输入阀、检定侧质量流量控制器以及检定侧流量控制阀相对于第2关闭阀而并列地设置。

技术领域

本发明涉及一种对于具有多个质量流量控制器的气体集成单元而逐个检定质量流量控制器的流量的流量检定单元。

背景技术

气体集成单元由多个气体供给管线集成而成。气体集成单元例如与反应容器相连接，并通过气体供给管线而对向真空状态的反应容器供给的1种或2种以上气体进行控制。向反应容器供给的作用气体的流量会影响产品质量。因此，气体供给管线分别具备：测定流量的质量流量控制器、和以使质量流量控制器的测定值与设定流量相一致的方式而进行工作的流量控制阀。质量流量控制器例如根据作用气体在流通于较细的内部配管时的上游侧与下游侧的温差而对流量进行测量。当作用气体的生成物附着于内部配管的内壁而使内部配管的内径发生变化时，在质量流量控制器的测定值中将会产生误差。因此，气体集成单元使用流量检定单元，而逐个检定质量流量控制器的流量。

图8是现有的流量检定单元101与气体集成单元110的回路图。气体集成单元110具备对冲洗气体进行控制的冲洗气体管线111、以及第1～第3气体供给管线121A、121B、121C。冲洗气体管线111具备输入冲洗气体的冲洗气体输入口117，并从上游侧起依次直列地连接有调节器112、布顿管(Bourdon Tube)式压力计113、压力计114、第1冲洗阀115以及第2冲洗阀116。第1气体供给管线121A具备输入第1气体的气体输入口127A，并从上游侧起依次直列地连接有压力计122A、气体输入阀123A、质量流量控制器124A以及流量控制阀125A。此外，第1气体供给管线121A在气体输入阀123A与质量流量控制器124A之间具备冲洗气体输入阀126A，该冲洗气体输入阀126A对从冲洗气体管线111所分流出的冲洗气体的输入进行控制。第2、第3气体供给管线121B、121C亦以与第1气体供给管线121A相同的方式而构成。冲洗气体管线111与第1～第3气体供给管线121A～121C经由共同流道130而并列地连接于共同输出阀131。

流量检定单元101包括第1关闭阀102、压力计103、温度计104以及第2关闭阀105，并且第1关闭阀102与共同流道130连接。流量检定单元101例如在实施质量流量控制器124A的流量检定的情况下，将气体输入阀123A～123C、第2冲洗阀116、流量控制阀125B、125C、共同输出阀131以及第2关闭阀105设为闭阀状态，并将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126A、流量控制阀125A以及第1关闭阀102设为开阀状态，从而使冲洗气体流至质量流量控制器124A，并将冲洗气体填充于第2冲洗阀116、流量控制阀125A～125C、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间。然后，流量检定单元101根据压力计103所测定的压力测定值而求得测定时间内的压力上升值，并根据该压力上升值、温度计104所测定的温度测定值、测定时间、第2冲洗阀116、流量控制阀125A～125C、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间的容积V，而计算出质量流量控制器124A的绝对流量。并且，流量检定单元101求得所计算出的绝对流量与设定流量之间的误差，若该误差位于正常范围与异常范围之间的容许范围，则对设定流量进行补正。此外，若误差位于异常范围，则流量检定单元101实施指示更换质量流量控制器124A的显示。

此处，气体集成单元110即使是相同的回路结构，也会因构成部件的公差或组装公差等而使第2冲洗阀116、流量控制阀125A～125C、共同输出阀131以及第1关闭阀102之间的容积V1在固体间发生偏差(也将容积V1称为“槽容积V1”)。槽容积V1的偏差成为容积V的偏差，从而使流量检定的精度降低。