[发明专利]具有应力消除结构的探针卡

权利要求书

1.一种探针卡组件，包括：

探针卡板；

探针芯，其中所述探针芯包括用于将所述探针芯固定至所述探针卡板上的粘接部；以及

膨胀隙，所述膨胀隙限定在所述探针卡板中，其中所述膨胀隙围绕所述探针芯延伸并环绕所述探针芯；

其中所述探针芯的所述粘接部在所述探针卡板的深度方向与所述探针卡板的至少一部分重叠。

2.根据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述探针卡板和所述探针芯由具有不同热膨胀特性的不同材料制成。

3.根据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述膨胀隙具有大于或等于所述探针芯的高度的深度。

4.根据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，还包括一个或多个额外的探针芯，每一个所述一个或多个额外的探针芯包括相应的膨胀隙。

5.根据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述膨胀隙具有可变的宽度。

6.一种探针卡组件，包括：

探针卡板；

管状部，所述管状部设置成插入至所述探针卡板的开口中并且设置成牢固地固定至所述探针卡板上，其中所述管状部包括一个或多个膨胀隙，所述一个或多个膨胀隙形成在所述管状部的邻近所述探针卡板的表面上，并且所述一个或多个膨胀隙以与所述管状部的纵轴大致平行的方向从所述管状部的第一端延伸至所述管状部的第二端；以及

探针芯，其中，所述探针芯包括用于将所述探针芯固定至所述管状部上的粘接部。

7.根据权利要求6所述的探针卡组件，其特征在于，所述管状部牢固地固定至所述探针卡板上，以使得间隙保持在所述管状部的表面和所述探针卡板的表面之间。

8.根据权利要求6所述的探针卡组件，其特征在于，所述管状部焊接至所述探针卡板上。

9.根据权利要求6所述的探针卡组件，其特征在于，所述管状部由与所述探针卡板不同的材料制成。

10.根据权利要求6所述的探针卡组件，其特征在于，所述探针芯的粘接部与所述管状部的至少一部分重叠。

11.根据权利要求6所述的探针卡组件，其特征在于，所述管状部和所述探针芯由具有不同热膨胀特性的不同材料制成。

12.根据权利要求6所述的探针卡组件，其特征在于，还包括一个或多个额外的探针芯，每一个所述一个或多个额外的探针芯包括用于将所述一个或多个额外的探针芯固定至所述探针卡板上的相应的管状部。